في حالة التغليف من نوع 2.5D/3D، لا يوجد مجال للتعامل مع التغيرات الحرارية. فأي نقطة ساخنة أثناء عملية التصليح، أو أثناء ربط الرقاقات ببعضها، أو أثناء إعادة تدفئة الروابط الدقيقة بين الرقاقات، قد تدمر كل ما تم تحقيقه خلال شهور من العمل المستمر. لذلك، قمنا بتصميم جهاز التسخين الخاص بالتغليف من نوع 2.5D/3D للتخلص من هذه المشكلة.
العوامل المهمة في عملية التسخين يوفر هذا الجهاز توزيعًا حراريًا موحدًا على مستوى الرقاقة، بدقة ±0.1 درجة مئوية، كما أنه يحافظ على نفس مستوى الحرارة ساعة بعد ساعة. توفر عناصر الإشعاع تحت الأحمر استجابة سريعة ودقيقة، بينما تساعد منطقة التسخين المعزولة بالكوارتز في تقليل تكون الجسيمات. كما أن هذا الجهاز متوافق مع غرف العمليات من الفئة 1 إلى 100، حيث تم اختيار الأسطح والأغلاقات المناسبة للحفاظ على مستوى منخفض من الجسيمات أثناء عمليات التسخين الطويلة. يتم التحكم في الجهاز بطريقة مغلقة، ويمكن تتبع أدائه، كما أنه مصمم ليتناسب مع عمليات التسخين المختلفة، بالإضافة إلى خطوات التغليف المتقدمة.
لماذا يعمل هذا الجهاز بشكل جيد في الإنتاج؟ يوفر هذا الجهاز مستوى ثابت من الحرارة على مستوى الرقاقة وعبر الأدوات المختلفة، مما يؤدي إلى نتائج مستقرة وعدد أقل من العيوب، بالإضافة إلى أوقات تشغيل متوقعة. يتم تشغيل الجهاز بسرعة وبشكل مستقر، مما يقلل من استهلاك الطاقة. يتميز هذا الجهاز بالموثوقية، حيث يمكن تشغيله على مدار 24 ساعة، كما أن مكوناته مصممة لتحمل درجات حرارة عالية، ويتم التخطيط لصيانته خلال أوقات محددة، وليس في أوقات غير متوقعة.
ملاحظة حول عملية التكامل يمكن تركيب الجهاز بسهولة، لكنه يحتاج إلى توصيلات كهربائية مناسبة، بالإضافة إلى توصيلات للمبردات/الغازات. أي تناسق غير صحيح في التوصيلات أو استخدام أنابيب ذات أحجام غير مناسبة سيؤثر سلبًا على أداء الجهاز. يجب التخطيط للهيكل الميكانيكي مسبقًا، حيث يجب أن يكون هناك مسافة كافية بين الجهاز والأجهزة المحيطة به، كما يجب أن يكون هناك تدفق هواء سلس للحفاظ على التوزيع الحراري الموحد. بمجرد تركيب الجهاز بشكل صحيح، يعمل النظام بشكل مستقر، دون أن يكون هناك أي عوامل متغيرة تؤثر على أدائه.