عند تسخين الرقائق في منطقة التنظيف الكيميائي، فإنك في الواقع تلعب بالنار. هناك بخارات قابلة للاشتعال ومواد كيميائية مؤذية في الهواء. أي عطل في مصباح الأشعة تحت الحمراء، أو أي تسرب للإشعاع بالقرب من المذيبات القابلة للاشتعال، قد يؤدي إلى اندلاع حريق. إنه سيناريو كابوسي.
نتعامل مع هذه المشكلة عن طريق التركيز على شيئين: كيفية ختم المصابيح، والمسافة المناسبة التي يجب أن تكون بينها وبين المذيبات.
التوازن بين الحرارة والأمان
إيجاد المسافة المناسبة أمر صعب للغاية. لا يمكن التخمين فقط. إذا كان المصباح قريبًا جدًا، فقد تتلف الرقائق، أو في أسوأ الأحوال، قد تشتعل الغازات الموجودة في الهواء. لكن إذا كان المصباح بعيدًا جدًا، فإن وقت التسخين سيطول، وستنخفض كفاءة العملية.
نحن نأخذ في الاعتبار قدرة المصباح ونقطة الاشتعال للمواد الكيميائية، لنجد النقطة المثالية. الهدف هو ضمان أن تكون الطاقة المستخدمة أقل بكثير من النقطة التي يمكن أن تؤدي فيها المواد إلى انفجار.
منع التلف
الأنابيب الكوارتزية العادية لا تصلح لهذا الغرض، لأن البيئة هناك قاسية للغاية. لذلك، نستخدم أغلفة محكمة الإغلاق ومقاومة للمواد الكيميائية.
لماذا؟ لأن هذا هو مكان بداية المشاكل. البخارات الكيميائية تؤدي إلى تلف الأقطاب الكهربائية، وهذا يؤدي إلى حدوث دوائر كهربائية قصيرة. نحن نحافظ على “المنطقة الساخنة” محكمة الإغلاق، ونستخدم مواد لا تطلق غازات أو تتلف عند تعرضها للمواد الكيميائية.
التضحيات اللازمة
المشكلة هي أن خطوط التصنيع تحتاج إلى سرعة، لذلك يتم استخدام مصابيح أشعة تحت حمراء ذات قدرة عالية. لكن هذه الطاقة العالية تأتي مع مشكلة؛ كلما زادت الطاقة المستخدمة، كان يجب أن تكون المسافة الأمنية أكبر لمنع المواد الكيميائية من الاشتعال.
إذا كان المكان محدودًا، فلا يمكن استخدام مصابيح ذات قدرة عالية. بدلاً من ذلك، نستخدم مصابيح أقل قدرة، لكن بعدد أكبر. هذا يساعد في توزيع الحرارة على السطح، ويحافظ على كل شيء في المنطقة الآمنة.
ومن أجل الأمان، نستخدم أنظمة للتحكم في درجة الحرارة. إذا توقف نظام التبريد، فإن الطاقة ستتوقف فورًا. بذلك، لا يحدث أي حريق.