২.৫D/৩D IC প্যাকেজিং-এর ক্ষেত্রে, থার্মাল ড্রিফট নিয়ন্ত্রণ করার জন্য কোনো সুযোগই থাকে না। আন্ডারফিল কিউরিং, TIM ডাই অ্যাটাচ বা মাইক্রোবাম্প রিফ্লো প্রক্রিয়ার সময় যদি কোনো সমস্যা দেখা দেয়, তাহলে মাসের পর মাস ধরে অর্জিত ফলাফলগুলো নষ্ট হয়ে যেতে পারে। আমরা এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্য ২.৫D/৩D IC প্যাকেজিং হিটার তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
অ্যাক্টিভ জোনে ±০.১°C তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়; আর ঘন্টার পর ঘন্টা ধরে একই তাপমাত্রা বজায় থাকে। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদানগুলো দ্রুত ও নির্ভুল প্রতিক্রিয়া দেয়; আর কোয়ার্টজ-আইসোলেটেড হিটিং জোনগুলো কণা উৎপাদন কমিয়ে রাখে। এটি ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমগুলোর জন্য উপযুক্ত; আর দীর্ঘসময় ধরে উচ্চ তাপমাত্রায় রাখার জন্য উপযুক্ত সারফেস ও সিল ব্যবহৃত হয়। নিয়ন্ত্রণটি ক্লোজড-লুপ ধরণের; আর ফটোরেজিস্ট সফ্ট/হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলোর জন্যও এটি উপযুক্ত।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
ওয়েফার ও বিভিন্ন টুলগুলোর মধ্যে সুস্থিতিশীল বেক প্রক্রিয়া বজায় থাকে; ফলে কম ত্রুটি হয় এবং সাইকেল সময়ও নির্ভুল থাকে। হিটারটি দ্রুত উত্তপ্ত হয় এবং স্থিতিশীল থাকে; ফলে শক্তি ব্যবহার কম হয়। এটি ২৪/৭ অপারেশনের জন্য উপযুক্ত; আর কম্পোনেন্টগুলো উচ্চ তাপমাত্রায় কাজ করার জন্য উপযুক্ত। রক্ষণাবেক্ষণটি নির্ধারিত সময়েই করা হয়; আর হঠাৎ কোনো সমস্যা দেখা দেয় না।
ইন্টিগ্রেশন সংক্রান্ত বিষয়:
হিটারটি সহজেই ইনস্টল করা যায়; কিন্তু এর জন্য আলাদা বিদ্যুত সরবরাহ ও কুল্যান্ট/গ্যাস সংযোগ প্রয়োজন। অনুপযুক্ত ফিটিং বা ছোট লাইনগুলো পারফরম্যান্সকে কমিয়ে দেয়। যান্ত্রিক অংশগুলো আগেই পরিকল্পনা করা উচিত—কারণ পাশের ফিক্সচারগুলোর সাথে থার্মাল ক্লিয়ারেন্স খুব কম; আর নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখার জন্য বায়ুপ্রবাহ অবাধ থাকতে হবে। একবার সবকিছু ঠিকঠাক হয়ে গেলে, সিস্টেমটি একটি স্থিতিশীল প্রক্রিয়া হিসেবে কাজ করে।