MEMS ওয়েফারগুলোকে কোনো সমস্যা ছাড়াই শুকিয়ে নেওয়া
MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলোকে শুকিয়ে নেওয়ার সময় খুবই সাবধানতা দরকার। কাজটি সঠিকভাবে সম্পন্ন করার জন্য যথেষ্ট তাপ প্রয়োজন; কিন্তু সেই তাপটি অবশ্যই সমানভাবে বিতরিত হতে হবে। যদি ওয়েফারে সামান্যও আর্দ্রতা থেকে যায়—অথবা তাপটি অসমানভাবে ওয়েফারে প্রযুক্ত হয়—তাহলে সেন্সরটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে। এটা কেউই চায় না।
এজন্যই আমরা এমন হিটার তৈরি করি, যেগুলো নির্দিষ্ট মান বজায় রাখতে পারে। আমরা দ্রুত তাপমাত্রা বাড়ানো এবং সমগ্র পৃষ্ঠতলজুড়ে তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখার উপর মনোযোগ দিই।
পাওয়ার সম্পর্কে
ওয়েফারগুলোকে শুকিয়ে নেওয়ার সময় সেই ক্ষণস্থায়ী MEMS কাঠামোগুলো ক্ষতিগ্রস্ত না হওয়ার জন্য প্রতি বর্গইঞ্চিতে কত ওয়াট শক্তি প্রয়োজন তা খুব গুরুত্বপূর্ণ। উচ্চ ওয়াট ঘনত্ব ভালো; কারণ এতে দ্রুত আর্দ্রতা দূর হয়।
কিন্তু এখানে একটি বিষয় রয়েছে: আপনার পাওয়ার সাপ্লাইটি হিটারের ভোল্টেজের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে হবে। যদি আপনি তাপমাত্রা বাড়ানোর জন্য কম ভোল্টেজের হিটারে অতিরিক্ত কারেন্ট প্রয়োগ করার চেষ্টা করেন, তাহলে হিটারটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে।
পরিষ্কার রাখা
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাক্টরিতে একটি ধূলিকণাও বড় সমস্যা হতে পারে। আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ বা নির্দিষ্ট ধরনের সিরামিক কোটিং ব্যবহার করি; যাতে কোনো ধূলিকণা চেম্বারে না ঢুকতে পারে।
আমরা হিটিং এলিমেন্টগুলোকে সীল করে রাখি; যাতে অক্সিডেশন না হয়। এতে হাজার হাজার চক্র পরেও তাপ উৎপাদন স্থিতিশীল থাকে। আর যেহেতু এগুলো ক্রমাগত সংকুচিত/প্রসারিত হয়, তাই আমরা ইন্ডাস্ট্রিয়াল-গ্রেড কানেক্টর ব্যবহার করি। উৎপাদন প্রক্রিয়ার মাঝখানে কোনো তার ঢিলে হওয়া উচিত নয়।
ত্যাগসমূহ
উচ্চ-আউটপুট হিটারগুলো শক্তিশালী; কিন্তু এগুলো ভ্যাকুয়াম ও কুলিং সিস্টেমের উপর অনেক চাপ সৃষ্টি করে।
নিশ্চিতভাবেই, তাপমাত্রা বাড়ালে প্রক্রিয়া দ্রুত সম্পন্ন হয়। কিন্তু এতে ওয়েফারের কিনারাগুলোতে অতিরিক্ত তাপীয় চাপ সৃষ্টি হওয়ার ঝুঁকি থাকে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করার জন্য PID কন্ট্রোলারগুলো সাবধানে ব্যবহার করা উচিত।
আর একটি সতর্কতা: যদি আপনার কুলিং ফ্যানগুলো হিটার থেকে উৎপন্ন তাপ সামলাতে না পারে, তাহলে আপনার কন্ট্রোল ইলেকট্রনিক্সগুলো কাজ করা বন্ধ করে দেবে। এটা খুবই বিরক্তিকর ও সমস্যাজনক। এটা এড়াতে আমরা ধাপে ধাপে তাপ সরবরাহ করার পরামর্শ দিই। এটা একটু ধৈর্য দাবি করে; কিন্তু অনেক নিরাপদ।