ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক শুধুমাত্র “একটি উত্তাপের ধাপ” নয়। এটি মাত্রাত্ত্বিক নিয়ন্ত্রণ, সরল ও স্পষ্ট।
সফট বেক বা হার্ড বেক মাত্র ২°C বাড়ালেই আপনি CD টার্গেট থেকে বাইরের দিকে চলে যাবেন। লাইন থেমে যাবে। এজন্যই আমরা ওভেন হিটিং এলিমেন্ট এমনভাবে তৈরি করেছি যাতে প্রক্রিয়ার তাপমাত্রা সেই শৃঙ্খলার সঙ্গে ধরে রাখা যায় যা ফ্যাব প্রকৃতপক্ষে চায়।
কারিগরি দিক থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
আমরা শর্ট-ওয়েভ IR কুয়ার্টজ এনভেলপে চালাই কারণ এটি দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয় এবং পরিষ্কার তাপ স্থানান্তর সরবরাহ করে। ওয়েফার লোড জুড়ে ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এবং রান-টু-রান রিপিটেবিলিটি একই সীমার মধ্যে থাকে।
এই বিল্ড ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমের সঙ্গে সামঞ্জস্যপূর্ণ। বেকের সময় আউটগ্যাসিং কম রাখি এবং পার্টিকল উৎপত্তি শূন্যে ধরে রাখি। পাওয়ার ডেলিভারি স্থিতিশীল থাকে, ফলে র্যাম্প-আপ এবং সোক প্রোফাইলগুলো সংকীর্ণ থাকে—লিথোগ্রাফির উইন্ডোর ভিতরে থার্মাল বাজেট বজায় রাখে।
লিথোগ্রাফিতে কেন এটি কাজ করে
বেক প্রোফাইল ফটোরেসিস্টের ফ্লো, অ্যাডহেশন এবং অবশিষ্ট দ্রাবক নির্ধারণ করে। হট জোন স্থিতিশীল রাখলে CD এর গড় ও পরিসর নিয়ন্ত্রণে থাকে, যা স্ক্র্যাপ এবং রিওয়ার্ক কমায়।
দ্রুত সেটলিং সাইকেল টাইম কমায় তবুও বেকের গুণগত মান ক্ষুণ্ণ হয় না, এবং পরিষ্কার থার্মাল প্রোফাইল সংবেদনশীল ওয়েফারে দূষণের ঝুঁকি কমায়। এটি ২৪/৭ অপারেশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, কারণ উচ্চ-পরিমাণ লাইনে অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম গ্রহণযোগ্য নয়।
মনে রাখার বিষয়
এলিমেন্টকে ওভেন চেম্বারের জ্যামিতি এবং কন্ট্রোলার টিউনিংয়ের সঙ্গে মিলতে হবে। ল্যাম্পের অবস্থান পরিবর্তন করলে বা রিফ্লেক্টর অ্যাসেম্বলি বদলে ফেললে পুনরায় টিউনিং দরকার হবে।
নির্দিষ্ট ভোল্টেজ উইন্ডোর বাইরে চালালে ল্যাম্পের আয়ু কমে যায় এবং ইউনিফর্মিটি বিচলিত হয়। ল্যাম্পের ঘণ্টার উপর ভিত্তি করে রক্ষণাবেক্ষণের পরিকল্পনা করুন এবং টার্মিনাল ব্লকের কারেন্ট ও তাপমাত্রার জন্য যথাযথ রেটেড স্পেয়ার কানেক্টর রাখুন।