Správné regulování teploty v vakuumové komoře
Pokud budujete chytrou výrobní linku pro průmysl 4.0, pravděpodobně už si uvědomujete, že staré analogové systémy na ohřev již nejsou dostatečné. Potřebujete přesná data – potřebujete vědět přesně, co se uvnitř té komory děje.
Problém spočívá v tom, že ve vakuu nemůžete spoléhat na proudění vzduchu, který by přenášel teplo. Konvekce tedy neexistuje. Proto se spoléháme na infračervené záření. Je to jediný způsob, jak přenést energii přímo do substrátu, bez potřeby prostředku, který by ji přenášel.
„Digitální“ regulace teploty
Aby vaše výrobní linka mohla komunikovat s PLC, musí vaše ohřívací prvky dobře spolupracovat s řídicími zařízeními.
Používáme krátkovlnné IR lampy z jednoduchého důvodu: fungují rychle. Reagují téměř okamžitě, jakmile změníte napětí. Když je spojíte s pyrometry v uzavřeném obvodu, odstraňují se veškeré odhady. Už nemusíte doufat, že vše půjde hladce během procesů nastartování nebo zahřívání. Vidíte totiž tepelný profil v reálném čase.
Problémy v vakuu
Vakuum představuje velký problém – teplo nemá kam uniknout. Pokud tam prostě umístíte vysoce výkonný systém, aniž byste vzali v úvahu jeho umístění, ohřejete stěny komory. To je katastrofa. Trávíme hodně času zkoumáním emisivity povrchů lamp. Cílem je zajistit, aby energie dopadla na wafer, a ne na samotnou komoru.
Musíte také najít rovnováhu mezi výkonem a hustotou energie. Jistě, vysoká hustota energie urychluje procesy, ale zároveň zatěžuje zdroj energie a systémy ochlazování. Pokud váš systém ochlazování nestačí, teplotní hodnoty začnou kolísat, a budete znovu od začátku.
Překonání konceptu „Nastavit a zapomenout“
Digitalizace je vlastně jen elegantní způsob, jak říct, že už nepotřebujeme používat běžné časovače.
S modulovanými IR systémy můžete sledovat každou kapku energie, která je dodána do dané série výrobků. To je vaše nová základna pro kontrolu kvality.
Navrhli jsme tyto systémy tak, aby byly jednoduchou náhradou za staré rezistivní ohřívače. Zaujímají méně místa a fungují mnohem rychleji. Ale skutečnou výhodou je to, že dostanete přesnější tolerance a dokumentaci o teplotních hodnotách každé součástky, která prochází komorou. Víte tedy opravdu, co se s vaším výrobkem stalo.