Jak přivést více tepla na vaše waferové desky (aniž byste plýtvali energií)
Když zahříváte waferové desky na vozících v čisté místnosti, každý kousek energie má význam. Největší problém? Vidět, jak vaše teplo prostě… mizí. Ve většině případů ta infračervená energie ani nedojde k waferové desce – je prostě pohlcena rámem vozíku.
Proto používáme zlato.
Proč zlato?
Aluminium je sice standardem, ale není ideální – pohlcuje a rozptyluje příliš mnoho energie. Zlato je jiné: je velmi efektivní při odrážení blízkooranžového světla zpět tam, kam patří.
Místo toho, abyste energii utráceli na zahřívání rámu vozíku – což vůbec nepomáhá vašemu procesu – vrstva zlata posílá toto záření přímo k cíli. Díky tomu dostanete mnohem vyšší tok tepla, a nemusíte zvyšovat výkon.
Jak přimět teplo pohybovat se
Vše záleží na tvaru a materiálu, který použijeme. Kombinujeme vysokointenzivní infračervené lampy s parabolickými nebo eliptickými reflektory potaženými zlatem.
Představte si to jako reflektor světel – soustředíme toto záření do úzkého paprsku, aby waferová deska dosáhla požadované teploty rychleji. Navíc je to řešení určené k odstranění těch otravných chladných míst na povrchu waferové desky.
Nevýhody
Problém je v tom, že když soustředíte teplo tak silně, okraje reflektoru se zahřejí – opravdu hodně. Pokusíte-li se podvést systém tím, že zvýšíte výkon, poškodíte uzavírací prvky lampy. Musíte najít rovnováhu mezi hustotou energie a tokem vzduchu. Pokud je proud vzduchu špatný, teplo se hromadí, reflektor se může deformovat a váš fokus zmizí.
Jednoduché použití
Vytvořili jsme je jako náhrady za ty současné – stačí je zapojit do vašich stávajících řídicích jednotek a nechat zlato, aby vykonalo tu těžkou práci. Je to jednoduchý způsob, jak přivést více tepla na silikonové desky, aniž byste plýtvali energií.