Přestaňte nechat své topné prvky ničit vaše wafery
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten noční můru – stačí, aby se na wafer dostala jediná mikroskopická částice, a výsledná úrovně kvality produktu okamžitě klesnou.
Problém obvykle spočívá v topných prvcích. Většina běžných lamp uvolňuje plyny nebo drobné částice právě v okamžiku, kdy je potřeba, aby zůstaly čisté. Rozhodli jsme se to vyřešit tím, že jsme pro naše IR lampy použili syntetický křemík vysoké čistoty.
Proč je křemík opravdu důležitý
Používáme spálenou sklovinu s téměř nulovým množstvím nečistot. Proč? Protože zabrání uvolňování kovových iontů nebo částic, když se lampy zahřejí.
Křemíkový obal lze považovat za hermeticky uzavřený prostor pro wolframový vlákno. Také jsme se vyhnuli organickým lepidlům a levné keramice, které se používají v běžných sadách. To znamená, že když lampy poprvé zapnete ve vakuu, nebudete vidět ten otravný „kouř“ nebo uvolňované plyny. Prostě fungují.
Teplo tam, kde ho potřebujete
V zařízeních na zpracování waferů je potřeba rychle zvýšit teplotu a udržet ji konstantní po celé ploše. Naše IR lampy vydávají energii v krátkovlnném spektru. Místo plýtvání časem na ohřev vzduchu kolem waferu jde teplo přímo do silikonové podložky. Je to rychlé – opravdu rychlé. A to zase umožňuje lepší kontrolu teploty pomocí systému PID.
Potenciální problémy a jak je řešit
Dobrou zprávou je, že se jedná o náhradní části, které lze jednoduše zainstalovat. Nemusíte se zabývat úpravami montážních prvků nebo redesignem hardwaru.
Ale pozor – tyto lampy mají velmi vysokou hustotu tepla. To znamená velké zatížení chladicích systémů. Pokud váš chladicí systém není dostatečně silný na to, aby zvládl maximální výkon lampy, obal se přehřeje. V takovém případě se vlákna v lampách spálí mnohem dříve, než by měly.
Několik tipů, jak udržet vše v pořádku:
Kontrolujte polohu reflektoru každých 500 hodin. I malý posun úhlu způsobuje vznik „horkých míst“, což může rychle zničit celou sadu waferů.
Také při čištění křemíku používejte pouze izopropylalkohol elektronické kvality. Cokoli jiného zanechá rez, který se uloží na sklo – a pak musíte začít znovu od začátku.