Přestaňte zahřívat stěny svého zařízení (a začněte zahřívat samotné desky) Už jste se někdy dotkli povrchu zařízení na výrobu polovodičů a ucítili...

V prostorách výroby připouštíte, aby se profil zahřívání fotorezistu posunul o 2 °C – najednou vám pak lithografický proces začne zkřížovat cestu....