Podpůrný ohřívač kryogenního systému
Out on the fab floor, kryogenní procesní okna vyžadují tepelnou podporu, která nesmí klouzat. Pokud podpora topení sklouzne, riskujete kolaps profilu...
Průmyslový ohřívač systému sušení waferů
Wafer vychází z finálního oplachu a začíná odpočítávání času. Pokud cyklus sušení váhá, riskujete vznik vodních skvrn, kolaps vzoru a defekty...