V prostoru výroby nejsou procesy měkkého a tvrdého zahřívání jen termickými kroky – jedná se o mechanismy, které regulují tloušťku vrstev a hustotu...

Wafer vychází z finálního oplachu a začíná odpočítávání času. Pokud cyklus sušení váhá, riskujete vznik vodních skvrn, kolaps vzoru a defekty...