In den Fertigungsanlagen ist man mit solchen Situationen vertraut: Selbst eine Abweichung der Temperatur um 0,2 °C kann dazu führen, dass die Linienbreite der zu druckenden Strukturen unkontrollierbar wird. In den 24/7 betriebenen Montagehallen ist eine gleichmäßige Temperatur nicht nur wünschenswert – sie ist vielmehr entscheidend für die Qualität der Produkte.
Was wir bei der Konstruktion berücksichtigen
Wir entwickeln Heizsysteme für die Fertigungs- und Montageprozesse unter Berücksichtigung von drei wichtigsten Kriterien: Gleichmäßigkeit, Sauberkeit und Wiederholgenauigkeit. In der beheizten Zone halten wir eine Temperaturstabilität von ±0,1 °C aufrecht – dadurch erhält jede Wafer sowie jeder Träger dasselbe thermische Verhalten. Der Heizkörper ist kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100. Zudem ist die Heizzone so konzipiert, dass keine Partikel entstehen – es kommt weder zu Ausgasungen noch zu Verunreinigungen des Photoresists oder der Oberflächen. Die Prozesse können wiederholt ausgeführt werden, wodurch kritische Parameter wie die Temperatur während des Heizzyklus stets im gewünschten Bereich bleiben.
Warum das wichtig ist
Bei der Waferverarbeitung sorgt eine konstante Heiztemperatur dafür, dass der Fluss des Photoresists sowie seine Haftung stabil bleiben. Dadurch reduzieren sich die Fehler, die später bei der Lithografie auftreten können. Bei der Verpackung und Montage führt eine stabile Temperaturverteilung dazu, dass der Aushärtungsprozess reibungslos abläuft – dadurch wird Umarbeitung vermieden und Abfall reduziert. Das Ergebnis sind weniger Störungen, vorhersehbare Prozesszeiten sowie weniger Energieverschwendung durch übermäßige Kompensationen.
Ein paar praktische Hinweise
Diese Heizsysteme können in bereits vorhandene Fertigungsanlagen eingebaut werden. Allerdings muss die thermische Masse sowie die Luftzirkulation in der Kammer auf den jeweiligen Prozess abgestimmt werden. Planen Sie außerdem eine Elektrik-Anordnung, die den Anforderungen der Reinräume entspricht. Zudem müssen ausreichende Zugänge für Wartungsarbeiten vorhanden sein. Die beste Leistung wird erreicht, wenn die Umgebungsbedingungen stabil sind und die Positionierung der Sensoren korrekt ist.