Im Bereich der Lithografie ist das thermische Profil während des Verarbeitungsvorgangs des Fotolacks etwas, mit dem man einfach nicht verhandeln kann. Wenn es zu Schwankungen bei der Weichbäckung kommt, verläuft die Verdunstung des Lösungsmittels nicht wie gewünscht. Bei einer Hitzestelle während der Hartbäckung verformen sich die kritischen Abmessungen des Fotolacks. Beides beeinträchtigt sowohl die Ausbeute als auch die Bearbeitungszeit. Wir haben unsere Lampen so konstruiert, dass dieses thermische Profil von der Weichbäckung bis zur Hartbäckung über die gesamte Waferfläche hinweg konstant bleibt.
Was wirklich wichtig ist
Wir kombinieren Halogen- oder NIR-Emiter mit Quarzoptiken sowie einem Schleifensteuerungssystem, um eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C zu gewährleisten. Dadurch entstehen wiederholbare Bäckungsprofile, bei denen Dicke des Fotolacks sowie kritische Abmessungen von Lot zu Lot konstant bleiben. Die Kompatibilität mit Reinraumklassen 1–100 ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt: Materialien mit geringer Gasemission sowie eine kontrollierte Luftzufuhr verhindern Kontaminationen im Prozess.
Keine Teilchenbildung – das ist keine leere Floskel: Es geht vielmehr um die Integrität der Filter und den Luftstrom in der Kammer, damit die Teilchenzahl auch bei 24/7-Betrieb konstant bleibt.
Warum das in der Produktion funktioniert
Man will schließlich uneingeschränkte Betriebszeiten – keine Anpassungen. Diese Lampen liefern über 5.000 Stunden hinweg eine stabile Leistung mit minimalem Ausfallrisiko. Dadurch werden unplanmäßige Stillstände reduziert und die Bearbeitungszeit verkürzt. Effiziente Emiter sowie eine schnelle thermische Reaktion senken den Energieverbrauch, ohne die Präzision der Bäckung zu beeinträchtigen.
Egal, ob es um die Weichbäckung geht, um die Viskosität des Fotolacks vor der Belichtung zu regulieren, oder um die Hartbäckung, um das Muster vor dem Ätzen festzuhalten – dieselbe Lampenplattform sorgt dafür, dass das Profil konstant bleibt – unabhängig von der Waferart bzw. der verwendeten Maschine.
Ein paar praktische Hinweise
Die Installation erfolgt maßgeschneidert für die jeweilige Maschine. Um die Lampen optimal einzusetzen, muss man die Abmessungen der Kammer, die Anschlussmöglichkeiten sowie das Temperaturregelsystem berücksichtigen. Die Lampen funktionieren am besten, wenn die Reflexionsrate der Kammer sowie die Kühlung den Spezifikationen entsprechen. Andernfalls wird die Homogenität beeinträchtigt.
Wir stellen Ihnen bereits im Voraus alle notwendigen Informationen sowie Anleitungshinweise zur Verfügung, damit die erste Charge ohne Nacharbeiten geeignet ist.