Einführung Wenn man mit Halbleiterwafern arbeitet, kann man keine Kompromisse eingehen. Die Kontrolle von Verunreinigungen sowie eine präzise...

Auf der Fertigungsebene ist das Backen des Photoresists nicht einfach nur ein „Heizschritt“. Es ist schlichtweg Maßhaltigkeitskontrolle. Erhöht man...