در فرآیند تولید، مراحل پخت نرم و سخت، صرفاً اقدامات حرارتی نیستند؛ بلکه نقش مهمی در کنترل ضخامت لایهها و تراکم نقصها دارند. حتی تغییر جزئی در دما نیز میتواند منجر به تغییرات در ابعاد مهم قطعات شود؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته نیز میتواند کل فرآیند را خراب کند. هزینه لامپهای گرمایشی ماوراءبنفش، صرفاً هزینه خرید آنها نیست؛ بلکه این هزینه در قالب بازدهی، زمان کارکرد و تکرارپذیری فرآیند نیز محاسبه میشود.
ما لامپهای گرمایشی ماوراءبنفش خود را بر اساس منابع نوری با طول موج کوتاه طراحی کردهایم؛ این منابع انرژی را مستقیماً به سیلیکون و لایههای نازک منتقل میکنند. استاندارد مورد نظر، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این کار با استفاده از سیستم کنترل چندمنطقهای و ساختاری بدون کوارتز انجام میشود. شما میتوانید فرآیند را در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ انجام دهید و تعداد ذرات تولید شده را در هر فوت مکعب در حد چند عدد نگه دارید. تکرارپذیری فرآیند در تمام محمولهها و در طول زمان، باعث میشود که پروفایل فوتورزیست ثابت بماند.
در فرآیند لیتوگرافی، پخت نرم یکنواخت، باعث کنترل چسبندگی و حذف حلالها میشود؛ پخت سخت یکنواخت نیز باعث تثبیت ابعاد قطعات میشود. لامپهای ما، توان حرارتی را دقیقاً در جایی که فرآیند نیاز دارد، تأمین میکنند؛ این امر باعث کاهش کارهای تکراری، پختهای مجدد و هدررفت مواد میشود. شما میتوانید زمان فرآیند را پیشبینی کنید، انرژی مصرفی برای هر ویفر را کاهش دهید، و عمر لامپها را نیز افزایش دهید؛ بنابراین نیازی به تعویض مداوم لامپها نیست. پروفایلهای یکنواخت پخت، باعث کاهش نوسانات و افزایش بازدهی فرآیند میشود.
نکاتی که باید در هنگام نصب لامپها در نظر بگیرید: هندسه اتاق، مسیرهای انتقال توان و محدودیتهای حرارتی باید مناسب باشد. این لامپها به سرعت گرم میشوند؛ بنابراین باید ماسه حرارتی و قطعات مربوط به نصب لامپها را به گونهای تنظیم کنید که از ایجاد نقاط داغ جلوگیری شود. شما باید زمان گرم شدن لامپها را کنترل کنید و دمای خروجی گازهای حرارتی را نیز در محدوده مشخصی نگه دارید. برای حفظ یکنواختی دمایی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، باید فرآیندهای کالیبراسیون منظمی انجام دهید.