افزایش گرما بر روی ویفرها (بدون هدر رفتن انرژی)
وقتی که ویفرها را در ترولیهای حمل و نقل در اتاقهای تمیز گرم میکنید، هر واحد انرژی اهمیت زیادی دارد. بزرگترین مشکل این است که گرمای تولید شده، از بین میرود. در اکثر مواقع، انرژی مادون قرمز حتی به ویفر نمیرسد؛ بلکه توسط بدنه ترولی جذب میشود.
به همین دلیل از طلا استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
الومینیوم استاندارد است، اما کارایی خوبی ندارد؛ زیرا انرژی زیادی را جذب و پراکنده میکند. طلا متفاوت است؛ زیرا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار کارآمد است.
به جای صرف انرژی برای گرم کردن بدنه ترولی، لایه طلا این تشعشعات را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکند. در نتیجه، جریان گرمایی بسیار بیشتری به ویفر منتقل میشود، و نیازی نیست توان بیشتری مصرف کنید.
حرکت دادن گرما
همه چیز به شکل و موادی که استفاده میکنیم بستگی دارد. ما از لامپهای مادون قرمز با توان بالا، همراه با منعکسکنندههای پارابولیک یا بیضی شکل پوشیده شده با طلا، استفاده میکنیم.
میتوانید آن را مانند یک نورپرداز تصور کنید؛ ما این تشعشعات را در یک پرتو ضیق متمرکز میکنیم تا ویفر سریعتر به دمای مورد نظر برسد. علاوه بر این، طراحی آن به گونهای است که نقاط سرد روی ویفر را از بین ببرد.
مشکلات
مشکل اینجاست که وقتی گرما را به این شکل متمرکز میکنیم، لبههای منعکسکننده بسیار گرم میشوند. اگر سعی کنید توان لامپ را بیش از حد بالا ببرید، ممکن است لامپ آسیب ببیند. باید تعادلی بین توان مصرفی و جریان هوا برقرار کنید؛ اگر جریان هوا مناسب نباشد، گرما انباشته میشود و منعکسکننده میتواند دچار تغییر شکل شود؛ در نتیجه، نقطه تمرکز گرما از بین میرود.
استفاده ساده
ما این دستگاهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین دستگاههای موجود شوند. کافی است آنها را به کنترلرهای فعلی متصل کنید؛ طلا وظیفه انتقال گرما را بر عهده خواهد داشت.
این روش سادهای برای افزایش گرما بر روی ویفرها، بدون هدر رفتن انرژی، است.