در کف کارخانه، پخت فوتورزیست صرفاً «یک مرحله گرمایشی» نیست. این کنترل ابعادی است، ساده و واضح.
فقط با افزایش یا کاهش ۲ درجه سانتیگراد در پخت نرم یا سخت، از هدف اندازه بحرانی (CD) خارج میشوید. خط تولید متوقف میشود. به همین دلیل ما المنت گرمایشی کوره را طوری طراحی کردیم که دمای فرآیند را با انضباطی که کارخانه واقعاً میطلبد، حفظ کند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
ما از IR موج کوتاه در یک محفظه کوارتزی استفاده میکنیم چون پاسخ سریع دارد و انتقال حرارت پاک ارائه میدهد. در کل بار ویفر، یکنواختی ±0.1°C است و تکرارپذیری بین هر بار اجرا در همان حد باقی میماند.
ساختار با اتاقهای تمیز کلاس 1–100 سازگار است. ما میزان گازدهی را پایین نگه میداریم و تولید ذرات را در طول پخت صفر حفظ میکنیم. تامین توان پایدار است، بنابراین پروفایلهای افزایش دما و نگهداری حرارت دقیق باقی میمانند—که بودجه حرارتی را در محدوده لیتوگرافی نگه میدارد.
دلیل کارکرد این روش در لیتوگرافی
پروفایل پخت، جریان فوتورزیست، چسبندگی و حلال باقیمانده را تعیین میکند. با تثبیت منطقه گرم، میانگین و دامنه CD تحت کنترل باقی میماند که باعث کاهش دورریز و دوبارهکاری میشود.
رسیدن سریع به شرایط پایدار زمان سیکل را کوتاه میکند بدون اینکه کیفیت پخت تحت تاثیر قرار گیرد، و پروفایل حرارتی پاک ریسک آلودگی ویفرهای حساس را کاهش میدهد. این سیستم برای کارکرد ۲۴/۷ طراحی شده است، زیرا در خطوط تولید حجم بالا، توقف ناگهانی مجاز نیست.
مواردی که باید در نظر داشته باشید
المنت باید با هندسه محفظه کوره و تنظیمات کنترلر سازگار باشد. تغییر جهت لامپ یا تعویض مجموعه رفلکتور نیازمند تنظیم مجدد است.
اگر خارج از محدوده ولتاژ مشخص شده کار کنید، عمر لامپ کاهش یافته و یکنواختی تغییر میکند. نگهداری را بر اساس ساعات کار لامپ برنامهریزی کنید و کانکتورهای یدکی با درجهبندی مناسب برای جریان و دما در ترمینال بلاک داشته باشید.