دیگر نیازی نیست دیواره‌های تجهیزات خود را گرم کنید؛ بهتر است فقط ویفرها را گرم کنید. آیا تا به حال سطح یک قطعه از تجهیزات را لمس کرده‌اید و گرمای...

در خط تولید، اجازه می‌دهید که دمای لازم برای پختن فوتورزیست، ۲ درجه سانتی‌گراد تغییر کند؛ در نتیجه، فرآیند لیتوگرافی دچار اختلال می‌شود. عدم یکنواختی...