בחדר הייצור, תהליכי החימום הרך והקשה אינם רק שלבים תרמיים – הם גם מנגנוני שליטה ברוחב הקווים ובצפיפות הפגמים. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה עלול לגרום לשינוי בממדים החשובים של השבב, ועלייה פתאומית ברמת החלקיקים עלולה להרוס את כל התהליך. העלות של נורות החימום באינפרא-אדום אינה כוללת רק את עלות הרכישה; ההשקעה מתבטאת גם בשיפור התפוקה, בזמן הפעולה של המכשיר ובאפשרות לחזור על התהליך שוב ושוב.
אנו מייצרים את נורות החימום שלנו על בסיס מקורות אור באורך גל קצר, כך שהאנרגיה נשלחת ישירות אל הסיליקון והשכבות הדקות. היעד שאליו אנו שואפים הוא אחידות של ±0.1°C ברמת השבב בכל אזור החימום. זה מושג באמצעות שליטה אלגוריתמית מורכבת וארכיטקטורה ללא קוורץ, שמאפשרת פעולה יעילה בחדרי ייצור נקיים. ניתן להשתמש בנורות אלו ברמות של Class 1–100, ולשמור על רמת חלקיקים נמוכה מאוד – פחות ממספר אחד לכל רגל מעוקב. האחידות נשמרת גם לאורך זמן, כך שפרופיל הפוטורזיסט נשאר יציב.
בתהליך הליתוגרפיה, חימום רגוע מאפשר שליטה בצמיגות ובהסרת הממסים; חימום קשה מאפשר שליטה בהידבקות החומרים ובפרופיל שלהם. נורותינו שומרות על הטמפרטורה הרצויה בדיוק במקום שהתהליך דורש זאת, מה שמפחית את הצורך בעבודות תיקון ובזבוז חומרים. ניתן לקבל זמני עיבוד צפויים, צריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל שבב, וחיי שירות ארוכים יותר של הנורות. פרופילי חימום יציבים מאפשרים תהליך יעיל יותר ותפוקה גבוהה יותר.
כדאי לזכור בעת ההתקנה: יש להתאים את גאומטריית החדר, את מסלולי ההזנה של האנרגיה ואת הגבולות התרמיים. נורות אלו מתחממות במהירות, ולכן יש לוודא שהחום מתחלק באופן שווה בכל האזורים, כדי למנוע נקודות חם. יש לתכנן זמני כיול קבועים, כדי לשמור על אחידות של ±0.1°C לאורך אלפי שעות של פעולה.