फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” केवल तापीय प्रक्रियाएँ ही नहीं हैं… बल्कि ये तो वे मापदंड हैं जो वेफरों की गुणवत्ता एवं दोष-सांद्रता को नियंत्रित करते हैं। थोड़ा सा भी तापमान-परिवर्तन वेफरों के आकारों को प्रभावित कर सकता है; जबकि कणों की अधिक मात्रा पूरे वेफर को नष्ट कर सकती है। इन्फ्रारेड वेफर हीटर लैंपों की कीमत केवल उनकी खरीद मूल्य ही नहीं है… बल्कि यह तो उत्पादन की गुणवत्ता, कार्यक्षमता एवं दोहरावीता में भी दिखाई देती है।
हम अपने इन्फ्रारेड वेफर हीटर लैंपों को शॉर्ट-वेव NIR स्रोतों के आधार पर बनाते हैं… ताकि ऊर्जा सीधे सिलिकॉन एवं पतली परतों में जा सके। हमारा लक्ष्य है कि बेकिंग क्षेत्र में वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे… इसके लिए हम बंद-लूप नियंत्रण प्रणाली एवं क्वार्ट्ज-रहित संरचना का उपयोग करते हैं… ताकि क्लीनरूम में भी इन लैंपों का उपयोग सुचारू रूप से हो सके। ऐसे में वेफरों पर कणों की संख्या प्रति घन फीट में एक अंक से भी कम रहती है। विभिन्न बैचों, शिफ्टों एवं लैंपों की आयु में भी गुणवत्ता स्थिर रहती है… ताकि फोटोरेसिस्ट का प्रोफाइल भी स्थिर रहे।
लिथोग्राफी में, नियमित “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से वेफरों की चिपचिपाहट एवं विलायकों को हटाने की प्रक्रिया नियंत्रण में रहती है… जबकि नियमित “हार्ड बेक” प्रक्रिया से वेफरों की चिपकने की क्षमता एवं उनका प्रोफाइल भी नियंत्रित रहता है। हमारे लैंप, आवश्यक स्थानों पर ही ऊष्मा प्रदान करते हैं… जिससे पुनः कार्य करने, पुनः बेकिंग करने एवं अपशिष्ट उत्पन्न होने की समस्याएँ कम हो जाती हैं। इससे चक्र-समय भी कम हो जाता है… एवं प्रति वेफर ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है। लैंपों की आयु भी बढ़ जाती है… इसलिए लगातार पार्ट्स बदलने की आवश्यकता नहीं पड़ती। स्थिर बेकिंग प्रक्रिया से वेफरों की गुणवत्ता बेहतर रहती है… एवं उत्पादन दर भी बढ़ जाती है।
इंस्टॉलेशन के समय ध्यान रखने योग्य बातें हैं – चेंबर की ज्यामिति, ऊर्जा-प्रवाह व्यवस्था एवं EMI/ऊष्मा-संबंधी मापदंड। ये लैंप तेजी से तापमान प्रदान करते हैं… इसलिए थर्मल मास एवं माउंटिंग हार्डवेयर को ठीक से समायोजित करना आवश्यक है… ताकि किसी भी स्थान पर अत्यधिक तापमान न उत्पन्न हो। ठीक से वॉर्म-अप करने के बाद ही तापमान-नियंत्रण संभव है… इसलिए नियमित रूप से कैलिब्रेशन करना आवश्यक है… ताकि हजारों घंटों तक ±0.1°C की एकरूपता बनी रहे।