Dalam proses pengemasan IC tipe 2.5D/3D, tidak ada ruang untuk mengatasi masalah perubahan suhu yang terjadi selama proses pengeringan bahan pengisi, pemasangan komponen pada IC, atau proses pelelehkan mikrobump. Satu titik panas saja sudah cukup untuk merusak hasil produksi yang membutuhkan waktu berbulan-bulan untuk dicapai. Kami merancang alat pemanas khusus untuk pengemasan IC tipe 2.5D/3D ini agar variabel-variabel tersebut dapat dikendalikan.
Apa yang penting dalam desainnya? Kualitas termal di area aktif IC mencapai ±0,1°C, dengan tingkat repetibilitas suhu yang tetap stabil dari jam ke jam. Komponen inframerah berpanjang gelombang pendek memberikan respons yang cepat dan akurat, sementara zona pemanasan yang terisolasi menggunakan kuarsa membantu mengurangi pembentukan partikel. Alat ini kompatibel dengan ruang kerja bersih kelas 1–100, dengan permukaan dan sambungan yang dirancang untuk meminimalkan jumlah partikel selama proses pemanasan. Sistem kontrolnya bersifat tertutup dan dapat dipantau dengan baik, serta dirancang untuk proses pemanasan jenis photoresist soft bake dan hard bake, serta langkah-langkah pengemasan yang lebih canggih.
Mengapa alat ini efektif digunakan dalam produksi? Profil pemanasan yang konsisten tercapai di seluruh permukaan wafer, sehingga menghasilkan penempatan komponen yang stabil, sedikitnya cacat, dan waktu siklus yang dapat diprediksi. Alat pemanas ini dapat mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat dan tetap stabil, sehingga konsumsi energi per batch menjadi lebih rendah. Keandalan alat ini didukung oleh kemampuan operasi 24/7, dengan komponen-komponen yang dirancang untuk bertahan dalam kondisi suhu tinggi, serta perawatan yang dilakukan secara terjadwal, bukan secara mendadak.
Hal penting terkait integrasinya: Alat pemanas ini mudah dipasang, tetapi membutuhkan pasokan daya yang memadai serta koneksi pendingin/gas yang tepat. Penggunaan fitting yang tidak sesuai atau saluran yang terlalu kecil akan menghambat kinerja alat ini. Rancang struktur mekanisnya sejak awal—jarak antara alat pemanas dan komponen lain harus cukup, dan aliran udara harus tetap lancar agar kualitas termal tetap terjaga. Setelah semuanya terpasang dengan baik, sistem ini akan berfungsi seperti proses yang stabil, bukan variabel yang perlu dikendalikan.