Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Saat mengeringkan wafer sensor MEMS, yang perlu diperhatikan adalah keseimbangan yang tepat. Dibutuhkan panas yang cukup untuk melakukan proses pengeringan, tetapi panas tersebut harus tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer. Jika masih ada sedikit kelembapan yang tersisa, atau panasnya tidak merata, maka membran sensor bisa rusak. Itu merupakan situasi yang sangat tidak diinginkan.
Itulah sebabnya kami merancang pemanas yang mampu mencapai tingkat akurasi yang tinggi. Kami berusaha membuat suhu naik dengan cepat, sambil mempertahankan kesetaraan suhu di seluruh permukaan wafer.
Soal daya
Untuk mengeringkan wafer tanpa merusak struktur MEMS yang rapuh tersebut, kami memperhatikan besarnya daya yang digunakan per inci persegi. Daya yang tinggi sangat efektif untuk menghilangkan kelembapan dengan cepat. Namun, sumber daya listrik harus cocok dengan tegangan yang dibutuhkan oleh pemanas. Jika kita memaksakan arus listrik yang terlalu besar ke komponen ber-tegangan rendah demi mencapai suhu yang diinginkan, maka pemanas tersebut akan rusak lebih cepat dari yang seharusnya.
Mempertahankan kebersihan
Di pabrik semikonduktor, setiap debu kecil pun merupakan ancaman. Kami menggunakan kuarsa berkualitas tinggi atau lapisan keramik khusus agar tidak ada partikel apa pun yang jatuh ke dalam ruang produksi. Kami juga menutup elemen pemanas agar tidak terjadi oksidasi. Hal ini memastikan bahwa output panas tetap stabil, bahkan setelah ribuan siklus. Karena elemen-elemen ini terus-menerus mengembang dan menyusut, kami menggunakan konektor kelas industri. Anda tentu tidak ingin kabelnya terlepas di tengah proses produksi.
Kompromi yang harus dihadapi
Pemanas berdaya tinggi memang efektif, tetapi hal tersebut memberikan tekanan besar pada sistem vakum dan pendinginan. Memang, meningkatkan suhu dapat mempercepat proses pengeringan. Namun, hal tersebut juga berisiko menimbulkan tekanan termal yang berlebihan pada tepi wafer. Anda perlu mengatur kontroler PID dengan hati-hati agar suhu tidak melebihi batas yang ditentukan.
Peringatan penting: jika kipas pendingin tidak mampu menangani panas yang dihasilkan oleh pemanas tersebut, maka sistem kontrol elektronik akan mulai bermasalah. Hal ini sangat mengganggu dan sulit dikendalikan. Untuk menghindarinya, kami biasanya menyarankan penggunaan pola pemanasan bertahap. Cara ini membutuhkan waktu yang lebih lama, tetapi jauh lebih aman.