Nel caso dei package 2.5D/3D, non c’è alcuna possibilità di compensare le variazioni termiche. Un singolo punto caldo durante la fase di solidificazione del materiale utilizzato per il riempimento degli spazi vuoti, durante l’attaccamento dei componenti o durante il processo di riallocazione dei microelementi può rovinare tutto ciò per cui si sono impiegati mesi di lavoro. Abbiamo progettato il riscaldatore per i package 2.5D/3D proprio per eliminare questa variabile.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Si ottiene una uniformità termica a livello del wafer pari a ±0,1°C nell’area attiva; inoltre, la precisione di regolazione permette di mantenere lo stesso livello termico, ora dopo ora. Gli elementi a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda garantiscono una risposta rapida e precisa, mentre la zona di riscaldamento isolata con quarzo riduce al minimo la formazione di particelle. Il sistema è compatibile con ambienti puliti di classe 1–100; le superfici e i sigilli utilizzati contribuiscono a mantenere basso il numero di particelle presenti durante i processi di cottura. Il controllo è a ciclo chiuso e tracciabile; inoltre, il sistema è progettato per adattarsi ai diversi profili di cottura richiesti, nonché per i passaggi termici legati alla confezionazione dei componenti.
Perché funziona bene in produzione
Si ottengono profili di cottura uniformi su tutto il wafer e tra le diverse macchine, il che porta a una maggiore stabilità dei risultati, a meno difetti e a tempi di ciclo prevedibili. Il riscaldatore si attiva rapidamente e mantiene una temperatura costante, riducendo così il consumo energetico per ogni lotto prodotto. La affidabilità del sistema deriva dal suo funzionamento 24/7; i componenti utilizzati sono progettati per operare a temperature elevate per lunghi periodi, e la manutenzione viene pianificata in base alle pause programmate, evitando così interruzioni impreviste.
Informazioni sull’integrazione
Il riscaldatore può essere integrato facilmente, ma richiede un alimentazione elettrica dedicata, nonché connessioni corrette per il refrigerante o il gas necessario al funzionamento. Connessioni errate o tubazioni troppo piccole possono comprometterne le prestazioni. È necessario pianificare in anticipo l’ambiente meccanico circostante: lo spazio termico rispetto agli elementi vicini deve essere ridotto al minimo, e il flusso d’aria deve rimanere libero per mantenere l’uniformità termica desiderata. Una volta che tutto è allineato, il sistema funziona come una sorta di “costante di processo”, senza che si debba tenere conto di altre variabili.