Smettete di permettere ai elementi riscaldanti di rovinare i vostri wafer
Se avete una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete bene questo problema: anche un solo particella microscopica che si posa su un wafer può causare una drastica diminuzione della qualità del prodotto.
Il problema è solitamente legato agli elementi riscaldanti. La maggior parte delle lampade standard rilascia gas o frammenti di detriti proprio nel momento in cui è necessario che siano il più pulite possibile. Abbiamo deciso di risolvere questo problema utilizzando lampade a quarzo sintetico ad alta purezza.
Perché il quarzo è così importante
Utilizziamo silice fusa con quasi zero impurità. Perché? Perché questo materiale impedisce alla lampada di rilasciare ioni metallici o particelle quando la temperatura aumenta. Il rivestimento in quarzo funge quindi da “sigillo ermetico” per il filamento di tungsteno. Inoltre, abbiamo abbandonato gli adesivi organici e le ceramiche di scarsa qualità utilizzate nelle lampade tradizionali. In questo modo, non ci sarà alcun rilascio di fumi o gas quando le lampade vengono accese in condizioni di vuoto. Funzionano semplicemente perfettamente.
Riscaldamento esattamente dove serve
Nei dispositivi per la lavorazione dei wafer, è necessario aumentare rapidamente la temperatura e mantenerla costante su tutta la superficie del wafer stesso. Le nostre lampade a infrarossi trasmettono l’energia nello spettro a onde corte. In questo modo, l’energia viene trasmessa direttamente al substrato di silicio, senza sprecare tempo a riscaldare l’aria circostante. È veloce… davvero molto veloce. E questo permette un controllo preciso della temperatura.
I problemi e come affrontarli
La buona notizia è che queste lampade possono essere sostituite facilmente senza dover modificare alcun componente del sistema. Tuttavia, queste lampade producono una grande quantità di calore, il che rappresenta un ulteriore carico per i sistemi di raffreddamento. Se il circuito di acqua refrigerante non è abbastanza potente per gestire questa quantità di calore, il corpo della lampada si surriscalderà. In tal caso, i filamenti bruceranno molto prima del previsto.
Ecco alcuni consigli utili per mantenere le lampade in funzione correttamente: controllate l’allineamento del riflettore ogni 500 ore. Anche un piccolo squilibrio nell’angolazione del riflettore può causare punti caldi, e questo può rovinare l’intera produzione. Inoltre, quando pulite il quarzo, utilizzate sempre alcol isopropilico di qualità elevata. Qualsiasi altro tipo di solvente lascia residui che si attaccano al vetro; in tal caso, dovrete ricominciare tutto da capo.