半導体用スペアパーツのコスト障壁を打ち破る
ご存知の通り、ASML製のランプが寿命を迎えると、生産ライン全体が停止してしまいます。そしてOEMから見積もりをもらうと、心配になりますよね。
みんなが疑問に思っているのは、国産の赤外線加熱ランプで本当にその役割を果たせるのか、ということです。機械の精密な温度バランスを崩さずに。
実際の答えは、単にスペースに収まるかどうかではありません。物理的な条件を満たすことが重要です。私たちのランプは、元のランプが入る場所にぴったりと収まるように設計されています。つまり、ダウンタイムなしで再び生産を再開できるのです。
詳細を見てみましょう：電力、電圧、形状
リソグラフィーでは、熱密度を適切に調整することが重要です。私たちのランプは2500W、400Vで動作します。この程度の電力があれば、フォトレジストの温度を狭い範囲内に保つための強力な赤外線エネルギーを生成できます。
また、長さも正確に調整されており、元のランプと同じ形状です。これにより、エネルギーがウェハー上の正確な位置に届きます。形状が1ミリでもずれると、露光が不均一になり、廃棄されるウェハーが増えてしまいます。
本当に重要な詳細
内部には、高純度の石英管とタングステンハロゲンフィラメントがあります。これにより、日々、何サイクルも安定して強力な赤外線を放出できます。
また、R7sコネクタも重要です。これにより、すべての部品が固定され、400Vの負荷に耐えることができます。元のコネクタと同じ形状になっているため、配線も変更する必要はありません。石英管のコーティングも重要です。特定の波長を遮断し、OEMの仕様に合った理想的な熱分布を実現します。
実際の使用状況
実際には、プラグアンドプレイに近い形で使用できます。古いランプを取り外し、新しいランプを取り付けるだけで、システムは自動的に熱負荷を認識します。再設定は不要です。既存の設備をそのまま利用できるので、配線を変更する必要もありません。
しかし、2500Wという高出力のため、大量の熱が発生します。そのため、機械の冷却システムが十分に機能している必要があります。冷却システムが劣化していると、チャンバーの温度が元の仕様を超えてしまう可能性があります。
ですから、交換する前に、冷却システムが余分な熱に対応できるかを確認してください。これが、高出力のハロゲンランプを使用する際の現実です。