ウェーファーにより多くの熱を与える方法（無駄なエネルギー消費を避けて）
クリーンルーム内でウェーファーを加熱する際、わずかなエネルギーも貴重です。最も厄介なのは、加熱されたエネルギーが無駄に失われてしまうことです。ほとんどの場合、その赤外線エネルギーはウェーファーに届く前に、ケースに吸収されてしまいます。 だからこそ、私たちは金を使用するのです。
なぜ金なのか？
アルミニウムも一般的に使われていますが、それはあまり適していません。アルミニウムはエネルギーを過度に吸収・散乱してしまいます。一方、金は異なります。近赤外線を元の方向に効率的に反射させることができます。 トロリーのフレームを加熱するために電力を浪費する代わりに、金の層がその放射エネルギーを直接ウェーファーに向けて送り出します。そうすることで、より高密度の熱が得られ、電力を増やす必要もありません。
熱を効果的に伝える方法
重要なのは形状と使用する材料です。私たちは高強度のIRランプと、金でコーティングされた放物面型または楕円形の反射器を組み合わせています。 これはまるでスポットライトのようなものです。放射エネルギーを集中させることで、ウェーファーがより早く目標温度に到達します。また、ウェーファー上の冷たい部分をなくすために特別に設計されています。
問題点
ただし、熱をこんなに集中させると、反射器の端が非常に高温になってしまいます。 電力を過度に高くすると、ランプの封止部に負担がかかります。電力密度とトロリーの空気流のバランスを見つける必要があります。空気の流れが悪くなると、熱が溜まり、反射器が変形してしまい、焦点がなくなってしまいます。
シンプルに接続して使用可能
私たちは、既存の装置に簡単に取り付けられるように設計しました。既存のコントローラーに接続するだけで、金が効果的に熱を供給してくれます。 これは、電力消費を増やすことなく、シリコンにより多くの熱を与える簡単な方法です。