Out on the fab floor, cryogenic process windows need thermal support that just won’t drift. If the support heater slips, you’re risking photoresist profile collapse, CD excursions, and the kind of unplanned tool downtime nobody wants. We built our cryogenic system support heater for the thermal discipline of advanced wafer processing—stable, uniform heat, where the margin for error is measured in nanometers. 기술적 핵심 사항 본 장치는 저열용량 소자를 사용하여 빠르게 안정화되며 엄격한 제어를 유지하여 베이크 표면 전체에서 웨이퍼 수준의 균일도를 ±0.1°C 이내로 유지합니다. 입자 발생이 전혀 없고, 클린룸 Class 1–100에 적합한 구조를 갖추고 있습니다. 전력 공급이 반복 가능하여 소프트 베이크 및 하드 베이크의 열 예산을 오버슈트 없이 지원합니다. 히터는 표준 반도체 장비 풋프린트에 장착 가능하도록 설계되었으며, 전압, 커넥터 유형이 구성 가능하고 레트로핏 및 신규 설치 모두에 적합한 콤팩트한 프로파일을 제공합니다. 이것이 리소그래피 및 포토레지스트 공정에서 중요한 이유 온도 반복성은 오버레이 정확도 및 수율 보증의 핵심입니다. 본 히터는 크라이오제닉 온도 범위를 지지 가열 시에도 안정적으로 유지하여 웨이퍼의 열 이력을 보호하고 베이크 간 변동을 제거합니다. 결과적으로 폐기 로트 감소, 재작업 감소, 사이클 타임 안정화가 달성됩니다. 필요 시 가열 방식으로 에너지 소비가 최적화되어 오버슈트를 방지하며, 최소한의 작업자 개입으로 열 안정성을 유지합니다. 실제 적용 세부사항 히터는 국제 반도체 장비 표준에 부합하도록 설계되었으며, 기존 플랫폼의 검증된 동등 대체품으로 작동합니다. 설치는 장비의 전력, 신호 및 기계적 인터페이스에 맞추는 작업이며, 챔버 경계부의 열 불일치를 방지하기 위한 응용 노트를 제공합니다. 사용 수명은 듀티 사이클 및 열 사이클에 따라 다르므로, 고투입량 라인에서는 균일도를 최적 상태로 유지하고 긴 생산 기간 동안 드리프트를 방지하기 위해 예방 점검을 계획해야 합니다.