Di bilik pengilangan, proses “soft bake” bukanlah sekadar langkah untuk memanaskan bahan tersebut. Ia merupakan syarat penting untuk mengawal ketebalan garisan pada permukaan bahan tersebut. Jika suhu dinaikkan sebanyak 0.5°C, ia akan mengubah nilai dos yang digunakan dalam proses pencetakan. Titik panas pada permukaan bahan tersebut boleh menyebabkan kecacatan yang sukar untuk diperbaiki selepas proses etching. Lampu pemanas yang digunakan dalam proses litografi Canon direka khas untuk mengekalkan suhu yang stabil, dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain.
Apa yang penting di sebaliknya
Lampu halogen berfrekuensi rendah ini beroperasi di dalam kelompok kuarza. Ia mempunyai masa tindak balas yang cepat, inersia termal yang rendah, serta output yang stabil. Keseragaman suhu pada permukaan wafer dapat dicapai pada tahap ±0.1°C, supaya setiap bahagian permukaan wafer mendapat suhu yang sama semasa proses fotoresestasi. Lampu-lampu ini direka khusus untuk platform litografi Canon, dan boleh digunakan tanpa perlu mengubah seluruh sistem penyejukan yang ada.
Selain itu, lampu-lampu ini juga bebas daripada pembentukan zarah-zarah kecil, walaupun dalam keadaan kelas 1–100. Ini memastikan jumlah zarah tetap stabil walaupun proses pemanasan berlangsung untuk jangka waktu yang lama. Dengan demikian, sistem ini dapat beroperasi secara konsisten 24/7, dengan output yang stabil selama lebih dari 5,000 jam. Tingkah laku lampu yang dapat diramalkan juga memudahkan perancangan penyelenggaraan.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Proses litografi sangat bergantung pada kemampuan untuk mengulangi proses yang sama dengan hasil yang konsisten. Apabila suhu yang ditetapkan dapat dipertahankan dengan tepat, proses “soft bake” dan “hard bake” akan menghasilkan hasil yang serupa dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain. Hasilnya adalah kurangnya keperluan untuk melakukan kerja pengulangan, kawalan ketebalan garisan yang lebih baik, serta pengurangan sisa bahan yang perlu dibuang.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana sistem dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat dan mengekalkannya tanpa melampaui batas yang ditetapkan. Selain itu, penggunaan lampu yang lebih sedikit juga membantu mengurangkan masa henti yang tidak dijangka.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan dan penyelenggaraan
Pemasangan lampu ini agak mudah, tetapi perlu dilakukan dengan hati-hati agar tidak merosakkan lampu tersebut. Lampu tersebut perlu disusun dengan tepat agar sesuai dengan geometri reflektor. Jika lampu tidak disusun dengan betul, keseragaman suhu akan terjejas. Gunakan sahaja voltan dan jenis sambungan yang ditetapkan, dan pastikan saluran penyejukan lampu tidak tersumbat. Pengurusan haba pada bahagian dasar lampu sangat penting untuk memastikan stabilitas jangka panjang.
Rancanglah masa penggantian lampu berdasarkan jadual penyelenggaraan preventif. Dengan cara ini, kita dapat memastikan sistem beroperasi secara konsisten tanpa masalah yang tidak dijangka.