Mengapa kilang-kilang pengeluar semikonduktor beralih daripada menggunakan ketuhar biasa kepada sistem pemanasan inframerah?
Sejujurnya, ketuhar konveksi merupakan cara yang tidak efisien. Kebanyakan kilang masih menggunakan sistem pemanasan jenis ini, di mana udara di dalam bilik dipanaskan sepenuhnya hanya untuk mengeringkan sekeping wafer kecil. Proses ini sangat lambat dan membuang masa. Sebenarnya, ia sama saja seperti cuba mengeringkan sehelai stokin dengan memanaskan seluruh rumah.
Sistem pemanasan inframerah pula berfungsi secara berbeza. Daripada memanaskan udara, ia menghantar sinaran elektromagnetik terus ke permukaan wafer tersebut.
Inilah cara kerjanya:
Kita menyesuaikan panjang gelombang lampu tersebut mengikut jenis bahan yang digunakan untuk proses pengeringan. Dengan menggunakan lampu berpanjang gelombang pendek atau sederhana, haba dapat sampai terus ke lapisan permukaan wafer. Anda tidak perlu menunggu bilik tersebut dipanaskan sepenuhnya. Suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa saat sahaja.
Selain itu, kerana haba yang dihasilkan sangat tepat sasaran, anda tidak perlu lagi menggunakan bahan katalis berbahan plumbum atau pelarut kimia untuk mempercepatkan proses pengeringan. Ini memudahkan proses penggunaan bahan-bahan yang mesra alam dan bebas plumbum.
Kesan terhadap bil elektrik
Jika anda pernah melakukan penilaian penggunaan tenaga, anda pasti tahu betapa mahalnya kos penggunaan ketuhar konveksi. Sistem pemanasan inframerah pula mempunyai penggunaan tenaga yang lebih rendah. Anda hanya perlu membayar untuk memanaskan permukaan wafer sahaja, bukan untuk memanaskan seluruh bilik.
Kelemahan (kerana memang sentiasa ada kelemahan)
Namun, sistem ini bukanlah sempurna. Lampu inframerah yang berintensiti tinggi menghasilkan haba yang sangat kuat, dan hal ini mungkin menyebabkan masalah pada sesetengah setup. Jika sistem penyejukan air di kilang anda tidak cukup kuat untuk menangani beban haba yang dihasilkan oleh lampu inframerah, maka anda akan menghadapi masalah. Anda mungkin akan melihat soket lampu atau talian penghantaran menjadi terlalu panas.
Cara untuk mengatasi masalah ini adalah dengan mencari keseimbangan antara kuasa lampu dan kelajuan pemindahan haba. Jika keseimbangan ini tidak dicapai, anda akan menghadapi masalah berkaitan suhu, dan itu tentunya bukan sesuatu yang diinginkan oleh sesiapa pun.