Op de productieafdeling zijn zowel de zachte als de harde verhittingsschappen geen puur thermische processen – ze vormen eerder een soort ‘beperkende factoren’ voor de nauwkeurigheid van de afmetingen en de defectdichtheid van de chips. Een verschil van een halve graad kan al leiden tot afwijkingen in de afmetingen van de chip. Bovendien kan één enkele deeltje al schade toebrengen aan de hele chip. De prijs van een infraroodverwarmer is niet alleen de aankoopprijs zelf; deze wordt ook betaald in termen van productieefficiëntie, beschikbaarheid en herhaalbaarheid.
Wij bouwen onze infraroodverwarmers rondom korte golflengte-NIR-bronnen, waardoor energie rechtstreeks in het silicium en de dunne lagen terechtkomt. Het doel is om een constante temperatuur van ±0,1°C te behouden over de hele verhittingzone. Dit wordt bereikt door gebruik te maken van een meerzonesysteem met gesloten regeling, en door een constructie zonder kwarts, zodat de verwarmer goed kan functioneren in een schone ruimte. Hierdoor kan men producten van klasse 1–100 produceren, met een aantal deeltjes per kubieke voet dat onder de tientallen ligt. De herhaalbaarheid blijft constant, ongeacht de batch, de tijd die voorbijgaat of de leeftijd van de verwarmer. Hierdoor blijft het profiel van de fotoresist consistent.
Bij lithografie zorgt een consistente zachte verhitting voor controle over de viscositeit en het verwijderen van oplosmiddelen. Een consistente harde verhitting zorgt weer voor een goede hechting en een stabiel profiel. Onze verwarmers houden de benodigde temperatuur precies op de juiste plekken, waardoor er minder herwerkzaamheden en verspilling nodig is. Er zijn ook voorspelbare cyclustijden, lagere energiekosten per chip dankzij efficiënte technologieën, en een langere levensduur van de verwarmer. Hierdoor hoeft men de onderdelen niet steeds te vervangen. Stevige verhittingprofielen zorgen voor minder afwijkingen en een hogere productieefficiëntie.
Wat je moet onthouden bij de installatie: pas de geometrie van de chamber, de stroomvoorziening en de EMI/thermische grenzen aan. De verwarmers bereiken snel hun gewenste temperatuur, dus moet je de thermische massa en de bevestigingshardware goed instellen om lokale hittepunten te voorkomen. Er is ook een kort warmtetijdproces nodig om de gewenste temperatuur te bereiken. Plan regelmatige kalibraties in, zodat de constante temperatuur van ±0,1°C gedurende duizenden uren behouden blijft.