W przypadku opakowań typu 2.5D/3D nie ma żadnej możliwości na radzenie sobie z efektami termicznymi. Jeden tylko punkt o wysokiej temperaturze podczas procesu szklienia materiału, montażu elementów lub procesu topnienia mikropętlic może zniszczyć całą strukturę, nad którą pracowano miesiącami. Stworzyliśmy specjalny grzejnik do opakowań typu 2.5D/3D, aby eliminować tę zmienną.
Co jest istotne w tym konstrukcji? Umożliwia to uzyskanie jednolitej temperatury na poziomie płyty krzemowej – ±0,1°C w całej aktywnej strefie. Ponadto umożliwia utrzymanie tej samej temperatury godzinę po godzinie. Elementy grzewcze typu krótkofalowego podczerwieni zapewniają szybką i precyzyjną reakcję, natomiast izolowana strefa grzewcza z kwarcem minimalizuje powstawanie cząstek. Konstrukcja jest kompatybilna z pomieszczeniami klasy 1–100, a powierzchnie i uszczelki są tak dobrane, by ograniczyć liczbę cząstek podczas długotrwałego procesu grzania. Sterowanie odbywa się w trybie zamkniętego obwodu, a konstrukcja została opracowana tak, aby mogła być używana w różnych profilach grzania, w tym w procesach fotorezystowych.
Dlaczego ten rozwiązanie sprawdza się w produkcji? Dzięki temu uzyskuje się spójne profile grzania na całej powierzchni płyty krzemowej oraz pomiędzy różnymi urządzeniami. To przekłada się na stabilność parametrów procesu, mniejszą liczbę defektów oraz przewidywalne czasy realizacji procesu. Grzejnik szybko osiąga wymaganą temperaturę i utrzymuje ją, dzięki czemu zmniejsza się zużycie energii. Niezawodność rozwiązania wynika z możliwości pracy 24/7, a komponenty są wytrzymałe na wysokie temperatury. Konserwacja odbywa się w ramach planowanego czasu przerwy, a nie wskutek nagłych awarii.
Co dotyczy integracji z innymi elementami? Grzejnik można łatwo zintegrować z innymi elementami, ale wymaga dedykowanego źródła zasilania oraz poprawnie przygotowanych połączeń chłodzących/gazowych. Niewłaściwe połączenia lub za małe rury mogą wpłynąć negatywnie na efektywność grzania. Należy wcześnie zaplanować układ mechaniczny – odległość od sąsiednich elementów musi być odpowiednia, a przepływ powietrza musi być swobodny, aby zachować wymaganą jednolitość temperatury. Gdy wszystko jest dobrze skonfigurowane, system funkcjonuje jak stała wartość procesu, a nie jako kolejna zmienna, którą trzeba kontrolować.