W procesie wytwarzania płytek krzemowych proces cieplnego obróbki nie stanowi jedynie kroku termicznego – to także elementy kontrolne, które wpływają na szerokość linii i gęstość defektów. Nawet niewielka odchylka o pół stopnia może wpłynąć na kluczowe parametry produktu, a obecność cząstek może zniszczyć całą partię produktów. Cena lampy grzewczej typu IR nie obejmuje tylko kosztu samej lampy – jest to koszt, który się przejawia w wydajności produkcji, czasie pracy urządzenia oraz jego powtarzalności.
Nasze lampy grzewcze typu IR są oparte na źródłach światła krótkofalowego typu NIR, które dostarczają energię bezpośrednio do krzemu i cienkich warstw. Celujemy w jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C w całej strefie obróbki, dzięki czemu możliwa jest precyzyjna kontrola za pomocą systemu wielozonowego z zamkniętym obwodem sterowania. Architektura lampy nie zawiera kwarcu, co sprawia, że doskonale nadaje się do użycia w środowiskach higienicznych. Dzięki temu można utrzymać liczbę cząstek poniżej jednej na metr sześcienny. Powtarzalność wyników jest zachowana niezależnie od partii produktów, zmian w ustawieniach czy wieku lampy, dzięki czemu profil fotochemikaliów pozostaje stały.
W litografii stała temperatura podczas procesu cieplnej obróbki zapewnia kontrolę nad lepkością materiałów i procesem usuwania rozpuszczalników. Nasze lampy umożliwiają precyzyjną kontrolę temperatury w miejscach, gdzie jest to konieczne, co redukuje ilość pracy ponawialnej, konieczności ponownej obróbki oraz ilości odpadów. Dzięki temu uzyskujemy przewidywalny czas realizacji procesu, mniejszą ilość energii zużywanej na obróbkę jednej płytki, a także dłuższą żywotność lampy, co oznacza, że nie trzeba często wymieniać części. Stałe parametry obróbki zapewniają mniejsze odchylenia i lepszą jakość produktu.
Podczas instalacji należy uwzględnić geometrię komory, zasilanie oraz warunki EMI/termiczne. Lampy te szybko osiągają żądaną temperaturę, więc konieczne jest dobranie odpowiedniej masy cieplnej i elementów montażowych, aby uniknąć lokalnych punktów o wysokiej temperaturze. Konieczne jest również regularne kalibrowanie lampy, aby utrzymać jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C przez tysiące godzin pracy.