W procesie litografii profil termiczny podczas obróbki fotorezystu to coś, z czym po prostu nie można negocjować. Jeśli temperatura podczas delikatnego suszenia się zmienia, parowanie rozpuszczalnika przebiega nierównomiernie. Gdy wystąpi gorący punkt podczas intensywnego suszenia, krytyczne wymiary elementów mogą ulec zmianie. To wpływa zarówno na jakość produktu, jak i czas jego powstania. Stworzyliśmy specjalne lampy do suszenia fotorezystu, aby zapewnić stabilność temperatury – od fazy delikatnego suszenia po intensywne – we wszystkich częściach płytki.
Co jest istotne? Łączymy emitory halogenowe lub z zakresu światła FIR z optyką kwarcową oraz systemem sterowania typu zamkniętego obwodu, aby utrzymać jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C. Dzięki temu uzyskujemy stałe parametry suszenia, co sprawia, że grubość fotorezystu oraz krytyczne wymiary pozostają stabilne w każdej partii produktów. Kompatybilność z salami czystymi klasy 1–100 jest integralną częścią projektu: materiały o niskiej emisji gazów oraz system kontroli cząstek zapobiegają zanieczyszczeniom w procesie.
Brak jakichkolwiek cząstek to nie tylko hasło reklamowe – chodzi o integralność filtrów oraz przepływ powietrza w komorze, które zapewniają stabilność parametrów, nawet podczas pracy 24/7.
Oto dlaczego ten system radzi sobie dobrze w produkcji: Chce się maksymalnego czasu pracy bez konieczności korekt. Te lampy zapewniają stabilną pracę przez ponad 5 000 godzin, z minimalnymi odchyleniami, dzięki czemu zmniejsza się czas przestojów i skraca się czas realizacji zamówień. Efektywni emiterzy oraz szybka reakcja termiczna przyczyniają się do zmniejszenia zużycia energii, bez straty precyzji suszenia.
Bez względu na to, czy używasz lamp do delikatnego suszenia fotorezystu przed ekspozycją, czy do intensywnego suszenia przed procesem wytaczania wzoru, ta sama plataforma lampy zapewnia stałe parametry suszenia – niezależnie od rodzaju płytek i urządzeń.
Kilka praktycznych uwag: Instalacja jest specyficzna dla danego urządzenia. Aby lampa dobrze funkcjonowała, należy dostosować ją do wymiarów komory, interfejsu połączeniowego oraz systemu sterowania temperaturą. Lampy sprawdzają się najlepiej, gdy refleksyjność komory oraz system chłodzenia są dostosowane zgodnie z specyfikacją; jeśli te parametry zostaną zaniedbane, pogorszy się jednorodność temperatury.
Podajemy szczegóły dotyczące interfejsu oraz procedur konfiguracji, aby pierwsza partia produktów mogła zostać przyjęta bez konieczności poprawek.