Na linha de produção, o encapsulamento de CI em formato 2.5D/3D não permite nenhum espaço para compensar as variações térmicas. Um único ponto quente durante o processo de cura do material de preenchimento, durante a fixação dos componentes ou durante o recristalização dos micro-bumps pode destruir todo o esforço investido ao longo de meses para alcançar uma boa qualidade de produção. Por isso, desenvolvemos um aquecedor especial para encapsulamento de CI em formato 2.5D/3D, a fim de eliminar essa variável.
O que é importante por trás disso tudo
É possível obter uma uniformidade térmica de ±0,1°C na área ativa do wafer, além de uma repetibilidade no ponto de controle térmico, mantendo assim o mesmo nível térmico, hora após hora. Os elementos infravermelhos de onda curta proporcionam uma resposta rápida e precisa, enquanto a zona de aquecimento isolada por quartzo reduz a geração de partículas. O sistema é compatível com salas limpas de classe 1–100, com superfícies e selos projetados para manter baixo o número de partículas durante os processos de aquecimento. O controle é feito em ciclo fechado, sendo possível rastrear todos os parâmetros. Além disso, o sistema é projetado para operar tanto em processos de aquecimento suave quanto intenso, além de permitir controles avançados relacionados ao aquecimento do material de encapsulamento.
Por que o sistema funciona bem na produção
É possível obter perfis de aquecimento consistentes em todo o wafer e entre diferentes ferramentas, o que resulta em uma camada de revestimento mais estável, menos defeitos e tempos de ciclo previsíveis. O aquecedor aquece rapidamente e mantém essa temperatura constante, diminuindo assim o consumo energético por lote. A confiabilidade do sistema se deve à capacidade de operar 24/7, com componentes projetados para suportar altas temperaturas continuamente. A manutenção é feita de acordo com horários definidos, evitando interrupções inesperadas.
Sobre a integração
O aquecedor pode ser instalado facilmente, mas requer uma fonte de energia dedicada, além de conexões adequadas para o resfriamento ou fornecimento de gás. Conexões inadequadas ou tubulações pequenas podem comprometer o desempenho do sistema. É necessário planejar bem o envelope mecânico do sistema – há pouca margem termica em relação aos componentes vizinhos, e o fluxo de ar precisa permanecer irrestrito para manter a uniformidade térmica desejada. Uma vez que tudo estiver alinhado, o sistema funciona como um processo constante, sem variáveis indesejadas.