Pare de deixar que os elementos de aquecimento estraguem suas waferes.
Se você trabalha em uma sala limpa de classe 100, certamente já conhece esse problema. Uma única partícula microscópica pode acabar com a qualidade das waferes.
O problema geralmente está nos elementos de aquecimento. A maioria das lâmpadas convencionais libera gases ou partículas pequenas exatamente no momento em que é necessário que elas estejam completamente limpas. Decidimos resolver isso usando quartzo sintético de alta pureza para nossas lâmpadas IR.
Por que o quartzo é tão importante?
Usamos sílica fundida com quase zero impurezas. Por quê? Porque isso impede que a lâmpada libere íons metálicos ou partículas quando fica quente.
Pense no revestimento de quartzo como um selo hermético ao redor do filamento de tungstênio. Também abandonamos os adesivos orgânicos e as cerâmicas baratas usadas em montagens básicas. Isso significa que, quando você ligar essas lâmpadas no vácuo, não haverá aquele “fumo” ou emissão de gases indesejados. Elas simplesmente funcionam bem.
Calor onde você realmente precisa dele
Nos dispositivos utilizados para processar waferes, é preciso aumentar rapidamente a temperatura e mantê-la constante em toda a superfície.
Nossas lâmpadas IR liberam energia no espectro de ondas curtas. Em vez de desperdiçar tempo aquecendo o ar ao redor das waferes, o calor vai diretamente para o substrato de silício. É rápido. Muito rápido. E isso faz com que o controle PID funcione de maneira mais eficaz.
Os desafios e como resolvê-los
A boa notícia é que essas lâmpadas podem ser substituídas facilmente. Você não precisa se preocupar com ajustes nos suportes de montagem ou na reprojetação do hardware.
Mas há um problema: essas lâmpadas geram muita densidade de calor. Isso exerce grande pressão sobre os sistemas de resfriamento. Se o circuito de água gelada não for suficientemente forte para suportar a potência máxima, o invólucro da lâmpada vai superaquecer. Se isso acontecer, os filamentos vão queimar muito mais cedo do que o esperado.
Alguns conselhos para manter tudo funcionando bem:
Verifique a alinhamento do refletor a cada 500 horas. Mesmo um pequeno desvio no ângulo do espelho pode causar pontos quentes, o que pode estragar todo o lote de waferes.
Além disso, ao limpar o quartzo, use álcool isopropílico de qualidade eletrônica. Qualquer outro produto deixará resíduos que grudam no vidro, e assim você terá que começar tudo de novo.