При использовании технологии упаковки 2.5D/3D не остается никакой возможности для компенсации тепловых колебаний. Одна лишь точка с высокой температурой во время процесса отверждения материала, при креплении чипа или при переплавлении микроэлементов может разрушить всю конструкцию, на создание которой уходили месяцы работы. Мы разработали специальный нагреватель для технологии упаковки 2.5D/3D, чтобы избавиться от этой проблемы.
Что действительно важно Достигается тепловая однородность на уровне волокна на уровне ±0,1°C по всей активной зоне. Устройство обеспечивает стабильность параметров нагрева на протяжении всего времени работы. Коротковолновые инфракрасные элементы обеспечивают быструю и эффективную реакцию, а изоляция нагревательной зоны из кварца снижает количество частиц в воздухе. Устройство совместимо с чистыми помещениями класса 1–100; поверхности и уплотнители выбраны таким образом, чтобы минимизировать количество частиц во время длительного нагрева. Контроль осуществляется в закрытом цикле, что позволяет точно контролировать процесс нагрева. Устройство также подходит для использования в процессах нагрева фоторезиста и других слоев, а также для выполнения сложных процедур упаковки.
Почему устройство эффективно в производстве Благодаря этому устройству достигается стабильный процесс нагрева на всем волокне и во всех устройствах, что способствует стабильности качества продукции, снижению количества дефектов и предсказуемости времени выполнения процессов. Нагреватель быстро нагревается и сохраняет стабильную температуру, что снижает энергопотребление. Надежность устройства обеспечивается за счет возможности его работы 24/7; компоненты рассчитаны на работу при высоких температурах, а техническое обслуживание планируется в соответствии с расписанием, без неожиданных остановок.
Что касается интеграции Устройство можно легко интегрировать в систему, но ему требуется отдельное питание и правильно подключенные каналы для охлаждения/подачи газа. Несоответствующие фитинги или слишком маленькие трубопроводы могут снизить эффективность устройства. Необходимо заранее спланировать механическую структуру устройства – расстояние до соседних элементов должно быть минимальным, а поток воздуха должен быть свободным, чтобы обеспечить требуемую однородность температуры. После правильной настройки устройство будет работать как постоянная составляющая процесса, а не как дополнительная переменная, которую необходимо учитывать.