Почему производства полупроводников отказываются от традиционных печей в пользу инфракрасного обжига
Честно говоря, конвекционные печи — это просто бесполезное устройство. Большинство производств до сих пор используют такие огромные системы подачи воздуха, которые нужны для нагрева всего помещения лишь для того, чтобы высушить одну-единственную пластинку. Это медленно и неэффективно. По сути, это как пытаться высушить одну носку, нагревая всю комнату.
Инфракрасный обжиг меняет ситуацию. Вместо нагрева воздуха излучение направляется прямо на саму поверхность пластинки.
Вот как это работает на самом деле:
Длина волны излучения выбирается в соответствии с типом фоторезиста или клея, который используется. Благодаря использованию коротковолновых или средневолновых излучателей тепло достигает цели мгновенно. Не нужно ждать, пока нагреется весь объем помещения.
К тому же, поскольку тепло передается напрямую, не требуется использовать токсичные катализаторы или химические растворители для ускорения процесса. Это делает выполнение требований к экологичности производства гораздо проще и менее сложным.
Влияние на расходы на электроэнергию
Если вы когда-либо проводили аудит энергопотребления, вы знаете, насколько высоки затраты на использование конвекционных печей. Можно сказать, что деньги просто улетают через стены и вентиляционные отверстия.
Инфракрасные системы отличаются тем, что имеют минимальные размеры и направляют энергию точно туда, где находится пластинка.
А еще: время нагрева сокращается с часов до минут. Это значит, что вы не тратите электроэнергию в то время, когда оборудование не работает. Вы перестаете платить за нагрев воздуха в помещении и платите только за процесс обжига.
Но есть и недостатки…
Конечно, все не так идеально. Высокоинтенсивные инфракрасные лампы создают очень высокую температуру, что может быть проблемой в некоторых условиях. Если система охлаждения в вашем производстве не рассчитана на такую нагрузку, возникнут проблемы — лампы или конвейерные ленты могут перегреваться.
Секрет заключается в правильном балансе между мощностью лампы и скоростью удаления тепла. Если этот баланс нарушен, возникают проблемы с температурой, что является серьезной проблемой для любого производства.