Когда вы нагреваете пластинки в зоне химической очистки, по сути, вы играете с огнем. В воздухе находятся легковоспламеняющиеся пары и коррозионные вещества. Одна лишь неисправность инфракрасной лампы или чрезмерное излучение рядом с летучими растворителями может привести к взрыву. Это настоящий кошмар.
Чтобы избежать этого, мы сосредотачиваемся на двух вещах: как правильно установить лампы и сколько пространства им необходимо для функционирования.
Баланс тепла
Необходимо точно определить правильное расстояние между лампой и поверхностью пластинок. Нельзя полагаться на догадки. Если лампа находится слишком близко, пластинки могут сгореть, а ещё хуже — возникнет пожар от горячих паров. Но если лампа расположена слишком далеко, время нагрева увеличивается, а производительность снижается.
Мы учитываем мощность лампы и температуру кипения химикатов, чтобы найти оптимальный вариант. Цель — сохранять энергию, поступающую на поверхность, на уровне, значительно ниже того, при котором может произойти взрыв.
Препятствия на пути
Стандартные кварцевые трубки здесь не подходят. Среда слишком агрессивна. Поэтому мы используем герметичные корпуса, устойчивые к химическим воздействиям.
Почему? Потому что именно здесь начинаются проблемы. Химические пары разрушают электроды, что часто приводит к короткому замыканию. Мы обеспечиваем изоляцию «горячей зоны» и используем материалы, которые не выделяют газов и не разрушаются под действием химикатов.
Компромиссы
Проблема в том, что производство полупроводников требует высокой скорости, поэтому используются лампы с высокой мощностью. Но такая высокая температура создает определенные риски. Чем больше мощности, тем больше необходимо запаса безопасности, чтобы предотвратить перегрев химической среды.
Если у вас мало места, нельзя использовать лампы с высокой мощностью. Вместо этого мы используем несколько ламп с меньшей мощностью. Это позволяет равномерно распределить тепло и сохранить все в безопасной зоне.
А для дополнительной безопасности мы устанавливаем систему автоматического отключения при перегреве. Если система охлаждения перестает работать, питание немедленно прерывается. Никаких проблем, никаких пожаров.