Почему инфракрасное излучение действительно эффективно для производства полупроводников
В заводах по производству полупроводников все решается в очень строгих условиях. Необходимо, чтобы процессы сушки и отверждения происходили без каких-либо остатков, без выделения углерода.
Старый способ – использование конвекционных печей. Но, честно говоря, нагрев всего воздуха – это пустая трата энергии. Что ещё хуже, это также создает риск нарушения чистоты в чистых комнатах.
Поэтому мы используем инфракрасное излучение в наших камерах. Вместо нагрева воздуха инфракрасное излучение воздействует напрямую на материал. Это значит, что газы вокруг материала не влияют на процесс.
Как правильно использовать инфракрасное излучение для экологичного производства
Если вы стремитесь к безсвинцовому или «экологичному» способу сушки, инфракрасное излучение – идеальный выбор. Вам не нужно использовать химические растворители или топлива, которые вызывают выбросы.
Хорошая новость в том, что коротковолновое и средневолновое инфракрасное излучение может проникать в материал. Оно способствует процессу связывания молекул смол или быстро удаляет растворители с поверхности пластин. Это происходит за секунды, а не за часы. Это значительно ускоряет процесс производства.
Технические детали установки оборудования в камеру
Установка такого оборудования в камеру – это не просто дело «подключи и работай». Необходима точность. В зависимости от скорости нагрева мы используем кварцевые галогенные лампы или керамические излучатели. Они вырабатывают большое количество тепла в очень малом пространстве.
Но есть один нюанс: необходимо сочетать длину волны излучения с тем, что может поглотить материал. Если это сделано неправильно, энергия просто отражается от поверхности материала, как от зеркала.
Мы решаем эту проблему, настраивая покрытие излучателя. Мы меняем точку излучения так, чтобы тепло поглощался сам материал, а не стены камеры.
Необходимый баланс
Но есть и негативные аспекты. Высокоинтенсивные инфракрасные излучатели вырабатывают огромное количество тепла. Да, это ускоряет производство, но при этом серьезно нагружается система охлаждения камеры. Если теплообменники не справляются с задачей, температура в камере растет. В результате возникают проблемы с пластиковыми уплотнителями или срабатывают сигналы тревоги.
Необходимо найти подходящий баланс между мощностью излучателя и мощностью системы охлаждения. Только так можно сохранить стабильную среду в камере и избежать проблем.