На этапе литографии термический профиль в процессе обработки фотополимера является одним из факторов, с которыми просто невозможно договориться. Если происходит изменение температуры во время мягкой обработки, происходит неравномерное испарение растворителя. А при слишком высокой температуре во время жесткой обработки критические размеры изделия искажаются. Это влияет как на качество продукции, так и на время её производства. Мы разработали специальные лампы для обработки фотополимера, чтобы сохранять стабильный термический профиль на всем протяжении процесса – от мягкой до жесткой обработки.
Что действительно важно
Мы используем галогеновые или световоды в инфракрасном диапазоне в сочетании с кварцевыми оптическими элементами и системой закрытого контроля, чтобы поддерживать однородность температуры на уровне ±0,1°C. Это позволяет получать стабильные параметры обработки, что обеспечивает постоянную толщину фотополимера и критические размеры изделия в каждой партии продукции. Дизайн устройства предусматривает совместимость с чистыми помещениями класса 1–100: использование материалов с низким уровнем выделения газов и системы контроля за количеством частиц предотвращают загрязнение процесса.
Отсутствие частиц – это не просто слоган; это результат правильной работы фильтров и системы вентиляции, которые поддерживают стабильный уровень частиц даже при круглосуточной работе оборудования.
Вот почему эти лампы эффективны в производственных условиях. Вы хотите, чтобы оборудование работало без перебоев, а не требовало постоянной настройки. Эти лампы обеспечивают стабильную работу в течение более 5,000 часов с минимальными отклонениями, что снижает время простоев и ускоряет процесс производства. Эффективные источники света и быстрый реагирование на изменения температуры позволяют снизить энергопотребление без ущерба для точности обработки.
Независимо от того, выполняется ли мягкая обработка для регулировки вязкости фотополимера перед экспозицией или жесткая обработка для фиксации формы изделия перед эчингом, одна и та же лампа обеспечивает стабильные результаты на всех поверхностях и с разными инструментами.
Несколько практических замечаний
Установка лампы зависит от конкретного оборудования. Необходимо соответствовать размерам камеры, интерфейсу подключения и системе контроля температуры. Перед установкой следует провести короткий чек-лист с командой обслуживания оборудования. Лампа будет работать наилучшим образом, если отражательность камеры и система охлаждения будут соответствовать спецификациям; при нарушении этих условий снижается уровень однородности.
Мы предоставляем информацию о возможностях подключения и процедурах настройки заранее, чтобы первая партия продукции была готова без необходимости доработок.