อย่าปล่อยให้องค์ประกอบที่ใช้สร้างความร้อนมาทำลายวาเฟอร์ของคุณอีกเลย
หากคุณกำลังใช้ห้องสะอาดระดับ Class 100 คุณก็คงรู้ดีถึงปัญหาที่เกิดขึ้น แค่มีอนุภาคขนาดเล็กเพียงอันเดียวตกลงบนวาเฟอร์ ผลผลิตของคุณก็จะลดลงทันที
ปัญหามักเกิดจากองค์ประกอบที่ใช้สร้างความร้อน โดยหลอดไฟมาตรฐานมักจะปล่อยก๊าซหรืออนุภาคเล็กๆ ออกมาในช่วงเวลาที่ต้องการให้หลอดไฟมีความสะอาดที่สุด เราจึงตัดสินใจเปลี่ยนมาใช้ควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับหลอดไฟ IR ของเรา
ทำไมควอตซ์ถึงมีความสำคัญ
เราใช้ซิลิกาที่มีความบริสุทธิ์เกือบ 100% ทำไมล่ะ? เพราะมันช่วยป้องกันไม่ให้หลอดไฟปล่อยไอออนโลหะหรืออนุภาคออกมาเมื่อมีความร้อนสูง ควอตซ์จึงเปรียบเสมือนฉนวนที่ช่วยป้องกันไม่ให้ความร้อนรั่วไหลออกมา เรายังเลิกใช้กาวอินทรีย์และเซรามิกราคาถูกที่ใช้ในหลอดไฟแบบธรรมดาอีกด้วย ดังนั้นเมื่อคุณเปิดหลอดไฟในสภาพสุญญากาศ คุณจะไม่เห็นควันหรือก๊าซที่เกิดขึ้นเลย มันทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพจริงๆ
ส่งความร้อนไปยังจุดที่ต้องการ
ในเครื่องมือสำหรับประมวลผลวาเฟอร์ คุณต้องเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว และต้องรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอทั่วพื้นผิววาเฟอร์ หลอดไฟ IR ของเราสามารถส่งพลังงานไปยังช่วงคลื่นความยาวสั้นได้ แทนที่จะเสียเวลาในการให้ความร้อนกับอากาศรอบๆ วาเฟอร์ ความร้อนก็จะเข้าไปยังวัสดุซิลิคอนโดยตรง นั่นทำให้การควบคุมอุณหภูมิทำได้ง่ายขึ้นมาก
ปัญหาที่อาจเกิดขึ้นและวิธีแก้ไข
ข่าวดีก็คือ หลอดไฟเหล่านี้สามารถใช้แทนหลอดไฟเดิมได้เลย คุณไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอุปกรณ์หรือออกแบบใหม่เลย แต่ปัญหาก็คือ หลอดไฟเหล่านี้มีความหนาแน่นของความร้อนสูงมาก ซึ่งจะสร้างแรงกดดันให้กับระบบระบายความร้อน หากระบบระบายความร้อนไม่แข็งแรงพอ ตัวหลอดไฟก็จะร้อนเกินไป และหลอดไฟก็จะเสียหายได้เร็วขึ้น
เคล็ดลับเพื่อให้หลอดไฟทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ควรตรวจสอบการจัดตำแหน่งของกระจกสะท้อนทุกๆ 500 ชั่วโมง แม้ว่ามุมของกระจกจะเปลี่ยนเพียงเล็กน้อย ก็อาจทำให้เกิดจุดร้อนได้ ซึ่งจะทำให้วาเฟอร์เสียหายได้เร็วขึ้น นอกจากนี้ เมื่อทำความสะอาดควอตซ์ ควรใช้แอลกอฮอล์อิโซโพรพิลระดับอิเล็กทรอนิกส์เท่านั้น หากใช้สารอื่น ก็จะทิ้งคราบไว้บนควอตซ์ และเมื่อนั้นคุณก็ต้องเริ่มต้นใหม่อีกครั้ง