Üretim alanında, “yumuşak pişirme” işlemi bir tür “ısınma işlemi” değildir. Bu, çizgi genişliğinin kontrolü için belirlenen bir sınırlama koşuludur. Sıcaklığı 0,5°C kadar değiştirdiğinizde, dozaj aralığı da değişir. Plaktaki herhangi bir sıcak nokta, kazıma işleminden sonra kusurlara neden olabilir. Canon’un litografi cihazlarında kullanılan ısıtıcılar, bu termal sınırları her seferinde sabit tutmak üzere tasarlanmıştır.
Önemli olan şeyler
Kuvars kılıf içinde çalışan kısa dalga halojen elemanları sayesinde hızlı tepki süresi, düşük termal atalet ve istikrarlı çıkış elde edilir. Pişirme plakası üzerindeki wafelerin homojenliği ±0,1°C civarındadır; böylece her bölge fotoresistin termal gereksinimlerini karşılar. Bu ısıtıcılar, standart Canon litografi platformları için özel olarak tasarlanmıştır ve mevcut lamba kutularına kolayca yerleştirilebilir; böylece tüm termal sistem yeniden ayarlanmasına gerek kalmaz.
Ayrıca bu ısıtıcılar temiz çalışır; Class 1–100 koşullarında hiçbir parçacık üretilmez. Böylece uzun süreli pişirme işlemlerinde de parçacık sayısı sabit kalır. Sahada 24/7 güvenilirlik sağlanır; 5.000 saatten fazla süre boyunca istikrarlı çıkış elde edilir ve bakım planlaması mümkün hale gelir.
Litografide bunun neden önemli olduğu
Litografi, tekrarlanabilirlikle ilgilidir. Lamba, pişirme sıcaklığını doğru şekilde koruduğunda, yumuşak ve sert pişirme işlemleri her seferinde aynı sonucu verir. Bunun sonucunda daha az yeniden işleme ihtiyacı, daha hassas CD kontrolü ve daha az atık oluşur.
Sistem, belirlenen sıcaklığa hızla ulaşıp orada kalabildiği için enerji tüketimi azalır. Ayrıca daha az lamba değişimi, plansız duruşların önlenmesine yardımcı olur.
Montaj ve bakım sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Montaj işlemi oldukça basittir; ancak lambaya ESD korumalı şekilde davranılmalı ve yansıtıcıya tam olarak hizalanmalıdır. Hatalı hizalama, asimetrik homojenlik şeklinde hemen fark edilir. Yalnızca belirtilen voltaj ve konektör tipi kullanılmalıdır. Ayrıca lamba kutusunun soğutma kanallarının açık olması gerekir; lambanın tabanındaki termal yönetim, uzun vadeli stabiliteyi sağlar.
Yedek parça değişimlerini önleyici bakım zamanlarına göre planlayın. Böylece beklenmedik durumlar olmadan kesintisiz çalışma sağlanır.