MEMS yongalarını sorunsuz bir şekilde kurutmak
MEMS sensör yongalarını kuruturken dikkat edilmesi gereken en önemli şey, mükemmel bir denge sağlamaktır. İşin yapılabilmesi için yeterli ısı gerekir; ancak bu ısının eşit şekilde dağıtılması şarttır. Eğer hafif bir nem kalırsa veya ısı yonga üzerine eşit şekilde dağılmazsa, sensör zarları hasar görebilir. Bu durum kimse için istenmeyen bir durumdur.
İşte bu yüzden ısıtıcılarımızı çok hassas toleranslar doğrultusunda üretiyoruz. Amacımız, sıcaklığı hızla yükseltmek ve tüm yüzeyde sabit tutmaktır.
Güç konusu
Kırılgan MEMS yapılarını bozmadan yongaları kurutmak için, metrekare başına düşen güç miktarına dikkat ederiz. Yüksek güç yoğunluğu oldukça iyidir; çünkü bu sayede nem hızla uzaklaştırılır.
Ancak burada önemli olan nokta, güç kaynağının ısıtıcının voltajıyla uyum içinde çalışmasıdır. Eğer sıcaklık hedeflerine ulaşmak için düşük voltajlı bir eleman üzerinden fazla akım geçirmeye çalışırsanız, ısıtıcı zarar görecektir.
Temizlik
Yarı iletken üretim tesislerinde tek bir toz parçası bile büyük bir sorundur. Bu yüzden yüksek saflıkta kuvars veya özel seramik kaplamalar kullanarak odanın içine hiçbir şeyin düşmesini engelliyoruz. Ayrıca ısıtıcı elemanları oksidasyonu önlemek için mühürleyeceğiz. Böylece binlerce döngü sonrasında bile ısı üretimi sabit kalır. Ayrıca bu elemanlar sürekli genişleyip daraldığı için endüstriyel standartlarda konektörler kullanıyoruz. Üretim sürecinin ortasında gevşek bir kablo olmasını istemezsiniz.
Değiş tokuşlar
Yüksek güçlü ısıtıcılar güçlü olabilir, ancak vakum ve soğutma sistemleri üzerinde büyük baskı oluştururlar. Elbette, ısıyı artırmak işlemi hızlandırır; ancak bu durum yonga kenarlarında aşırı termal stres oluşmasına neden olabilir. Sıcaklığın kontrol altında tutulabilmesi için PID kontrollörlerini dikkatlice ayarlamanız gerekir.
Bir uyarı daha: Eğer soğutma fanları bu ısıtıcıların ürettiği ısıyı karşılayamazsa, kontrol elektronikleri bozulabilir. Bu durum can sıkıcı ve takibi zordur. Bunu önlemek için genellikle kademeli ısıtma yöntemi öneriyoruz. Bu yöntem biraz daha zaman alsa da çok daha güvenlidir.