На виробничій лінії процеси м’якого та жорсткого нагрівання є не просто термічними кроками – це також елементи, які контролюють розміри деталей та їхню щільність дефектів. Навіть незначна зміна температури може призвести до зміни критичних параметрів деталей, а наявність частинок може зруйнувати всю продукцію. Ціна інфрачервоного нагрівача полягає не лише у сумі коштів за покупку; вона також проявляється у якості продукції, часі її виробництва та можливостях повторного використання.
Ми створюємо наші інфрачервоні нагрівачі на основі короткхвильових джерел світла, які передають енергію безпосередньо в кремній та тонкі шари. Бажаним показником є однорідність температури на всій поверхні пластини з точністю ±0,1°C. Цього можна досягти завдяки контролю в кількох зонах та архітектурі без використання кварцу, що сприяє правильній роботі у чистих приміщеннях. Можна досягти рівня очищення поверхні пластини на рівні 1–100 класу, при цьому кількість частинок за кубічний фут залишається на низькому рівні. Єднакість параметрів зберігається незалежно від партій продукції чи тривалості роботи нагрівача, тож профіль фотополімеру залишається стабільним.
У процесі літографії стабільне м’яке нагрівання дозволяє контролювати в’язкість речовин та процес їх видалення; стабільне жорстке нагрівання забезпечує належну адгезію матеріалів та стабільність їхнього профілю. Наші нагрівачі забезпечують точний контроль температури саме там, де це необхідно для процесу, що дозволяє скоротити кількість необхідних корекцій та відходів. Це також дозволяє отримувати прогнозовані терміни виконання завдань, меншу кількість енергії, яка витрачається на нагрівання пластини, а також подовжує термін служби нагрівача. Стабільні параметри нагрівання забезпечують менше відхилень та більш ефективну роботу обладнання.
Під час встановлення необхідно враховувати геометрію камери, параметри живлення та умови EMI/термічного контролю. Ці нагрівачі швидко нагріваються, тож необхідно правильно розташувати їх, щоб уникнути місцевих точок підвищеної температури. Також необхідно контролювати температуру вихлопних газів. Рекомендується регулярно проводити кальбрування для підтримання однорідності температури на рівні ±0,1°C протягом тисяч годин роботи.