Як осушити пластини MEMS без проблем
Під час осушення пластин датчиків MEMS необхідно досягти ідеальної рівності температури. Потрібна достатня кількість тепла для виконання завдання, але воно має бути розподілене рівномірно по всій поверхні пластини. Якщо залишиться трохи вологи чи якщо тепло буде подаватися нерівномірно, це може призвести до пошкодження матриці датчика. Це справжній кошмар, якого ніхто не хоче.
Саме тому ми розробляємо нагрівачі, які дозволяють досягти точних параметрів температури. Ми прагнемо швидко підняти температуру та підтримувати її стабільною на всій поверхні пластини.
Що стосується потужності…
Щоб осушити пластину, не пошкодивши крихкі структури MEMS, ми уважно стежимо за значенням потужності на один квадратний дюйм. Висока концентрація потужності є корисною, адже вона дозволяє швидко позбутися вологи. Але є одна проблема: джерело живлення мусить гармонійно працювати з напругою нагрівача. Якщо спробувати подати занадто великий струм через елемент із низькою напругою, щоб досягти потрібної температури, це може призвести до пошкодження нагрівача.
Чистота – ключовий фактор
У заводах з виробництва напівпровідників навіть одна крапелька пилу є серйозною проблемою. Ми використовуємо кварц високої чистоти чи спеціальні керамічні покриття, щоб ніщо не могло випасти в приміщення. Також ми герметизуємо елементи нагріву, щоб запобігти окисленню. Це дозволяє підтримувати стабільну температуру навіть після тисяч циклів роботи. Оскільки ці елементи постійно розширюються та скорочуються, ми використовуємо промислові роз’єми. Не варто, щоб дроти були недостатньо міцними під час процесу виробництва.
Компроміси
Нагрівачі високої потужності є ефективними, але вони створюють великий тиск на системи вакууму та охолодження. Звісно, підвищення температури прискорює процес осушення. Але це також може призвести до надмірного теплового навантаження на краї пластини. Тож необхідно ретельно налаштовувати контролери PID, щоб температура не перевищувала допустимих значень.
Ще одне застереження: якщо вентилятори охолодження не зможуть впоратися з теплом, яке виділяють нагрівачі, контрольна електроніка почне працювати некоректно. Щоб уникнути цього, ми радимо використовувати поступове підвищення температури. Це може зайняти більше часу, але є значно безпечнішим варіантом.