Припиніть нагрівати стінки обладнання – почніть нагрівати самі пластини. Чи торкалися ви коли-небудь поверхні обладнання та відчували його тепло? Це...

На лінії виробництва допускається, щоб профіль висушування фоторезисту зміщувався на 2°C. Але тоді система літографії починає створювати проблеми....