MEMS ویفروں کو بغیر کسی پریشانی کے خشک کرنا
جب MEMS سینسر ویفروں کو خشک کیا جاتا ہے، تو اس کے لئے بہت احتیاط کی ضرورت ہوتی ہے۔ کام کو مکمل کرنے کے لئے مناسب حد تک حرارت ضروری ہے، لیکن یہ حرارت یکساں ہونی چاہیے۔ اگر ویفر میں تھوڑی سی بھی نمی باقی رہ جائے، یا حرارت ویفر پر یکساں طور پر نہ پہنچے، تو سینسر کی سطح خراب ہو سکتی ہے۔ یہ کوئی اچھی بات نہیں ہے۔
اسی لئے ہم اپنے ہیٹرز کو ایسے ہی ڈیزائن کرتے ہیں کہ وہ درکار حد تک حرارت فراہم کر سکیں۔ ہم اس بات پر توجہ دیتے ہیں کہ درجہ حرارت جلدی سے بڑھے، اور پوری سطح پر یکساں رہے۔
پاور کا استعمال
MEMS ساختوں کو خراب کیے بغیر ویفروں کو خشک کرنے کے لئے، ہم “واٹس-فی-سکوائر-انچ” کی مقدار پر توجہ دیتے ہیں۔ زیادہ واٹج کثافت بہتر ہے، کیوں کہ اس سے نمی فوراً ختم ہو جاتی ہے۔
لیکن ایک بات یاد رکھنے کی ہے: پاور سپلائی کو ہیٹر کے وولٹیج کے ساتھ ہم آہنگ رہنا چاہیے۔ اگر کم وولٹیج والے عنصر سے زیادہ کرنٹ گزارنے کی کوشش کی جائے، تو ہیٹر جل جائے گا۔
صفائی کی اہمیت
سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں، ایک چھوٹا سا گرد کا ذرہ بھی بہت بڑا مسئلہ بن سکتا ہے۔ ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز یا خاص قسم کی سیرامک کوٹنگ استعمال کرتے ہیں، تاکہ کوئی چیز چیمبر میں نہ گرے۔
ہم ہیٹنگ عناصر کو بھی بند کر دیتے ہیں، تاکہ آکسیکیشن نہ ہو۔ اس سے درجہ حرارت ہمیشہ یکساں رہتا ہے، یہاں تک کہ ہزاروں بار چکر لگنے کے بعد بھی۔ اور چونکہ یہ عناصر مسلسل سکڑتے اور پھیلتے رہتے ہیں، اس لئے ہم صنعتی معیار کے کنیکٹر استعمال کرتے ہیں۔ پروڈکشن کے دوران کسی بھی وقت تار ٹوٹنا قابل قبول نہیں ہے۔
توازن کی ضرورت
زیادہ طاقت والے ہیٹرز بہت مؤثر ہیں، لیکن یہ ویکیوم اور کولنگ سسٹم پر بہت زیادہ دباؤ ڈالتے ہیں۔
بے شک، زیادہ حرارت سے عمل تیز ہو جاتا ہے، لیکن اس سے ویفر کے کناروں پر بہت زیادہ حرارتی دباؤ پڑ سکتا ہے۔ لہذا، درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کے لئے PID کنٹرولرز کا استعمال ضروری ہے۔
ایک اور اہم بات: اگر کولنگ فینز ہیٹر سے پیدا ہونے والی حرارت کو سنبھال نہ سکیں، تو کنٹرول الیکٹرانکس خراب ہو سکتے ہیں۔ اس سے بچنے کے لئے، ہم عموماً تدریجی حرارتی پروفائل کی سفارش کرتے ہیں۔ یہ طریقہ تھوڑا زیادہ وقت لیتا ہے، لیکن یہ زیادہ محفوظ ہے۔