Trong quy trình đóng gói IC dạng 2.5D/3D, bạn không còn cơ hội để khắc phục các vấn đề liên quan đến sự biến đổi nhiệt độ nữa. Chỉ cần có một điểm nóng xảy ra trong quá trình xử lý chất lỏng lấp kín khoảng trống giữa các linh kiện, hoặc trong quá trình gắn chip vào bo mạch, thì toàn bộ quy trình sản xuất có thể bị hủy hoại – điều này khiến cho việc tối ưu hóa hiệu suất sản xuất phải mất nhiều tháng trời. Chúng tôi đã thiết kế bộ sưởi dành cho quy trình đóng gói IC dạng 2.5D/3D nhằm loại bỏ yếu tố nguy cơ này.
Điều quan trọng là gì?
Bạn sẽ có được mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0.1°C trên toàn bộ diện tích hoạt động của wafer. Đồng thời, mức nhiệt độ được duy trì ổn định qua từng giờ. Các linh kiện sưởi dạng tia hồng ngoại cung cấp phản ứng nhanh và chính xác; trong khi khu vực sưởi được cách ly bằng thạch anh giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi. Thiết bị này tương thích với các phòng sạch loại 1–100; các bề mặt và thành phần cấu tạo của thiết bị được chọn lọc kỹ lưỡng để giữ mức số lượng hạt bụi ở mức thấp trong suốt quá trình sản xuất. Hệ thống kiểm soát nhiệt độ được thiết kế sao cho có thể kiểm soát chính xác nhiệt độ trong quá trình xử lý, đồng thời phù hợp với các quy trình đóng gói phức tạp.
Tại sao thiết bị này lại hiệu quả trong sản xuất?
Bạn sẽ có được mức nhiệt độ ổn định trên toàn bộ wafer và giữa các máy móc khác nhau. Điều này giúp giảm số lượng lỗi sản xuất và giúp dự đoán thời gian hoàn thành công việc một cách chính xác. Bộ sưởi có khả năng khởi động nhanh và duy trì nhiệt độ ổn định, do đó giảm chi phí năng lượng tiêu thụ. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động 24/7, với các linh kiện có khả năng chịu được nhiệt độ cao trong thời gian dài. Việc bảo trì thiết bị cũng được lên kế hoạch cẩn thận, để tránh những sự cố bất ngờ.
Về vấn đề tích hợp:
Bộ sưởi có thể được lắp đặt một cách dễ dàng, nhưng nó cần có nguồn điện riêng và các kết nối dẫn khí/lỏng phù hợp. Nếu các kết nối không phù hợp hoặc đường ống quá nhỏ, thì hiệu suất của thiết bị sẽ bị ảnh hưởng. Bạn cần lên kế hoạch kỹ lưỡng về kích thước cơ học của thiết bị – khoảng cách giữa thiết bị và các bộ phận khác cần được kiểm soát chặt chẽ, đồng thời luồng không khí cần được duy trì ổn định để đảm bảo mức độ đồng đều về nhiệt độ. Khi mọi thứ được sắp xếp ổn thỏa, thiết bị sẽ hoạt động như một quy trình ổn định, chứ không phải là một yếu tố gây biến động.