Trong quy trình in ẩn, việc sử dụng nhiệt độ 90°C trong quá trình nung không chỉ là một thiết lập trên bảng điều khiển thôi. Đó chính là giới hạn giữa một lớp phim cảm quang có cấu trúc ổn định và một tấm wafer bị hỏng, phải bị vứt bỏ.
Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 0,5°C thôi cũng đủ khiến độ đồng đều của các đường kẻ trên wafer bị ảnh hưởng, từ đó làm mất kiểm soát độ dày của các đường kẻ này. Trong ngành này, nhiệt độ không chỉ là yếu tố liên quan đến nhiệt lượng mà còn là yếu tố quan trọng trong quy trình sản xuất; nhiệt độ cần được kiểm soát chặt chẽ trong suốt quá trình sản xuất.
Chúng tôi sử dụng các bộ gia nhiệt hiệu suất cao, giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên wafer ở mức ±0,1°C. Điều này giúp đảm bảo quá trình nung diễn ra ổn định, từ đó tăng hiệu suất sản xuất. Các thiết bị này được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch – từ loại 1 đến 100 – và được chế tạo sao cho không xảy ra sự thay đổi nhiệt độ đột ngột, gây ra các vấn đề về chất lượng sản phẩm.
Chúng tôi sử dụng các bộ phát sóng hồng ngoại tần số cao, giúp kiểm soát quá trình nung một cách chính xác. Khu vực nung được cách ly tốt, nhờ đó bảo vệ buồng sản xuất khỏi sự xâm nhập của khí và chất gây ô nhiễm.
Trong quá trình sản xuất, độ chính xác này giúp giảm số lượng wafer bị hỏng, rút ngắn thời gian sản xuất, và đảm bảo quá trình nung diễn ra ổn định. Nhờ đó, hiệu suất sản xuất được nâng cao, và tỷ lệ sản phẩm cần sửa chữa giảm đi đáng kể.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu nhờ vào hiệu suất cao của các bộ gia nhiệt. Thiết bị này có thể hoạt động 24/7, vì vậy thời gian ngừng máy do sự cố gần như bằng không.
Một vài lưu ý trước khi lựa chọn thiết bị này: Các bộ gia nhiệt này có thể được tích hợp một cách dễ dàng, nhưng chúng cần có nguồn điện ổn định và bộ phận giữ wafer có khả năng giữ nhiệt tốt để đạt được mức độ đồng đều mong muốn. Hãy dành thời gian để điều chỉnh các thông số PID sao cho phù hợp với điều kiện hoạt động của buồng sản xuất. Đồng thời, hãy kiểm tra kỹ việc cách điện và bảo vệ buồng sản xuất khỏi nhiễu điện từ.
Khi mọi thứ được điều chỉnh chuẩn xác, quá trình sản xuất sẽ diễn ra ổn định, và các đường kẻ trên wafer sẽ có độ chính xác như mong muốn – mà không bị ảnh hưởng bởi sự biến đổi nhiệt độ.