Làm thế nào để truyền nhiệt hiệu quả hơn lên các tấm wafer (mà không lãng phí năng lượng)
Khi bạn sưởi ấm các tấm wafer trên các khay di chuyển trong phòng sạch, mỗi đơn vị năng lượng đều rất quan trọng. Vấn đề lớn nhất là năng lượng dùng để sưởi ấm lại bị lãng phí. Thông thường, năng lượng hồng ngoại đó không thể tiếp cận được các tấm wafer; nó bị hấp thụ bởi chính khung của khay di chuyển.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng vàng.
Tại sao lại là vàng?
Aluminum là vật liệu thông dụng, nhưng nó không hiệu quả lắm. Nó hấp thụ và phân tán quá nhiều năng lượng. Ngược lại, vàng lại có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại một cách hiệu quả, giúp truyền nhiệt trực tiếp đến các tấm wafer. Bạn sẽ nhận được dòng nhiệt mạnh hơn, mà không cần tăng công suất máy móc.
Làm thế nào để truyền nhiệt hiệu quả hơn?
Điều quan trọng là hình dạng của bộ phản xạ và vật liệu được sử dụng. Chúng tôi kết hợp các bóng đèn hồng ngoại công suất cao với các bộ phản xạ hình parabol hoặc elip được phủ bằng vàng. Điều này giúp tập trung năng lượng vào mục tiêu cần sưởi ấm. Bên cạnh đó, chúng tôi thiết kế bộ phản xạ sao cho có thể loại bỏ những vùng lạnh trên bề mặt tấm wafer.
Nhược điểm
Khi tập trung nhiệt một cách mạnh mẽ như vậy, các cạnh của bộ phản xạ sẽ trở nên rất nóng. Nếu bạn cố gắng tăng công suất quá mức, các bộ phận của bóng đèn sẽ bị tổn thương. Bạn cần tìm ra sự cân bằng giữa mật độ năng lượng và lượng không khí lưu thông. Nếu dòng khí không đủ, nhiệt độ sẽ tăng lên, và bộ phản xạ có thể bị biến dạng, khiến điểm tập trung nhiệt mất đi.
Chỉ cần cắm vào là dùng được
Chúng tôi thiết kế những bộ phản xạ này để thay thế ngay cho các bộ phản xạ hiện có. Bạn chỉ cần kết nối chúng với bộ điều khiển hiện tại của mình, và vàng sẽ đảm nhận việc truyền nhiệt. Đây là cách đơn giản để truyền nhiệt hiệu quả hơn lên các tấm wafer, mà không làm tăng chi phí năng lượng.